판매용 중고 ULVAC Zi-1000 #9157922

ULVAC Zi-1000은 ULVAC 특허 ALVA (advanced low vacuum arc) 기술을 기반으로 한 스퍼터링 장비입니다. 광범위한 작업 압력 범위에 대한 탁월한 스퍼터링 균일성 및 증착률 제어를 제공합니다. 이 시스템은 메인 챔버, RF 전원 공급 장치, ALVA 전자 총, 3 개의 회전 가능한 표적, 공기 흐름판 및 진공 펌프로 구성됩니다. 주 챔버에는 3 개의 회전 가능한 목표물을위한 4 개의 포트와 전자 총을위한 1 개의 포트가 장착되어 있습니다. RF 전원 공급 장치는 최대 1000 와트의 전력을 공급할 수 있으며, 정확하게 제어할 수 있습니다. 알바 (ALVA) 전자 총에는 전자 총 공급 및 제어 보드가 있으며, 선형 및 원형 운동을위한 전자 총 세트가 있습니다. 불균일 한 증착을 줄이기 위해 설계되었습니다. 회전 가능한 3 개의 표적은 텅스텐으로 만들어졌으며 두께는 5mm이며, 최대 1000 ° C의 온도를 처리 할 수 있습니다. 외부 직경은 300mm입니다. 공기 흐름판 은 "알루미늄 '으로 만들어졌으며 증착 과정 중 에" 플라즈마' 를 함유 하고 오염 을 줄이는 데 사용 된다. 진공 "펌프 '는 낮은 작동 압력 을 달성 할 수 있으며 분당 500" 리터' 의 유속 을 가지고 있다. 이 장치에는 먼지 필터, 진공 밸브, 압력 게이지 등과 같은 다양한 액세서리가 포함됩니다. Zi-1000은 최적의 표면 마무리, 뛰어난 접착 및 낮은 표면 거칠기, 뛰어난 지형 제어를 지원합니다. 강철, 구리, 알루미늄과 같은 단단하고 전도성 표면을 코팅하는 데 적합합니다. 이 기계는 두꺼운 필름의 높은 증착율, 여러 표적을 통한 표면 지형의 정확한 제어, 부식성 표적의 단단한 진공, 정밀 증착의 낮은 기판 온도, 긴 실행 시간, 높은 전력 효율, 낮은 폐기물 및 배출량 등 고급 기능을 제공합니다. 결론적으로, ULVAC Zi-1000은 다양한 표면을 코팅하는 데 탁월한 성능을 제공하는 고급 스퍼터링 도구입니다.