판매용 중고 ULVAC Zi-1000 #9128730

ULVAC Zi-1000은 고정밀 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 다기능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 초안정 폐쇄 루프 다이렉트 드라이브 스퍼터링 (closed-loop direct-drive sputtering) 기술을 통해 증착 공정의 정확한 제어 및 대형 표면에 대한 필름의 뛰어난 균일성을 제공합니다. 이 장치는 낮은 스퍼터링 파워 레벨을 제공하는 고급 DC 또는 PF 스퍼터링 (PF sputtering) 기술을 사용하여 불순물 확산 또는 거칠기 (roughness) 와 같은 바람직하지 않은 효과를 최소한의 저저항 필름을 증착 할 수 있습니다. 고급 멀티 타겟 5포켓 구성은 최고의 유연성과 높은 스퍼터 속도 안정성을 제공합니다. 각 스퍼터 위치마다 독립적 인 전원 공급 장치를 사용하면, 다른 필름 유형을 동시에 생산할 수 있습니다. 이것은 특히 다층 필름에 유익합니다. 강력한 디지털 프로세서를 통해 사용자는 모든 매개변수를 쉽게 제어할 수 있으며, 균일하고 반복 가능한 증착을 수행할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 프로파일 측정을 제공하여 특정 공차 레벨 내에서 정밀 필름 증착을 보장합니다. 또한, 고급 가스 제어 기계 (Gas Control Machine) 는 다양한 공정 가스의 정확한 혼합을 제공하여 박막 증착의 높은 균일성을 보장합니다. Zi-1000에는 원격 또는 수동 제어 하에 여러 기판을 도입하고 증착 과정에서 산화로부터 보호 할 수있는 통합 로드 잠금 도구 (Load Lock Tool) 가 있습니다. 자산에는 RF 바이어스 전압 발전기가 장착되어 있으며, 다양한 증착에 대해 최대 5kV의 바이어스 전압을 생성 할 수 있습니다. ULVAC Zi-1000 의 뛰어난 기능과 유연성을 통해 연구 개발 연구소 (Research and Development Labs) 및 산업 응용 분야에 이상적인 증착 모델이 되었습니다. 고급 기능을 통해 사용자는 뛰어난 균일성, 뛰어난 정밀도, 무결성, 접착 특성을 가진 박막 필름을 빠르게 생산할 수 있습니다. 또한, 우월한 디자인은 다양한 기판에 걸쳐 빠르고, 정확하고, 반복 가능한 depositio 프로세스를 허용합니다.