판매용 중고 ULVAC ULDIS-900-CHL #9395811

ULVAC ULDIS-900-CHL은 혁신적인 스퍼터링 장비로, 사용자가 강렬한 증착률로 균일 한 박막을 달성 할 수 있습니다. 이 PVD (physical vapor deposition) 시스템은 반도체, 디스플레이 및 광학 응용 프로그램을 포함한 다양한 산업에서 사용됩니다. 이 장치는 고출력 DC 및 "true-dual RF" 스퍼터링을 특징으로하여 엄청나게 효율적이고 최대 수율을 제공합니다. 이 이중 주파수는 증착 에너지가 클수록 이온화 (ionization) 가 증가하여 스퍼터 (sputtered) 물질의 균질성 및 범위가 향상됩니다. ULDIS-900-CHL (Main Chamber of ULDIS-900-CHL) 은 공간 균일성이 높도록 설계되어 전체 기판 전체에서 필름 층이 일관되게 유지됩니다. 또한 최대 3 개의 기판을 동시에 처리할 수있는 모듈과 함께 높은 처리량 전송 로봇 (HRT Transfer Robot) 을 통합합니다. 또한 "부품 프로세스 제어 (Part Process Control)" 옵션을 제공하여 각 배치가 증착 프로세스 전체의 일관성을 위해 모니터링될 수 있으므로 필름의 불일치가 제거됩니다. ULVAC ULDIS-900-CHL에는 에디 전류 (eddy current pre-clean) 및 포스트 클리너 (post-cleaner) 및 안정적인 압력을 유지하면서 챔버 내 온도를 제어하는 데 도움이되는 내장 냉각 시스템이 있습니다. 이것 은 약실 내 의 입자 들 이 과로 하는 것 을 막아 주며, 빠른 처리 시간 을 허용 한다. 스테인리스 스틸 베이스 (Stainless Steel Base) 와 챔버 (Chamber) 도 부식에 강하며 벽면에 침전물이 붙지 않도록 항성 마감이 가능합니다. 이것은 거의 다운타임 없이 효율적인 운영을 촉진합니다. ULDIS-900-CHL 머신에는 자동 기판 크기 감지 기능 (automated substrate size detection feature) 및 각기 다른 증착 대상에 대한 다양한 에칭 모듈 (etching module) 을 포함하여 다양한 옵션 구성 요소가 있습니다. 전반적으로 ULVAC ULDIS-900-CHL은 전례없는 증착률을 가진 최적의 균일 한 박막을 제공하는 매우 강력한 PVD 스퍼터링 도구입니다. 다양한 기능을 제공하여 효율성, 정확성, 안전성을 높여 다양한 프로세스를 수행할 수 있습니다 (영문).