판매용 중고 ULVAC ULDIS-900-CHL #9113738

ULVAC ULDIS-900-CHL은 박막 증착, OLED 디스플레이 프로토 타입, 광학 코팅 등 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 고성능 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템은 강력한 자기장 (magnetic field) 과 초고진공 (ultra-high vacuum) 기술을 결합한 독특한 소형 구성을 사용하여 단일 소스 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 에서 사용 가능한 최고 증착률을 달성합니다. ULDIS-900-CHL은 쿼드 폴 (Quadpol) 유형의 다중 마그네트론 클러스터 스퍼터링 소스를 사용하여 대상 재료 운동 분포를 정확하게 제어합니다. 이 기계는 다중 계층 또는 다중 구성 요소 박막 증착을 허용하며, 최대 4 개의 마그네트론이 독립적으로 작동 및 결합됩니다. 각 마그네트론에는 고밀도 플라즈마를 만들기 위해 강력한 자석이 장착되어 있습니다. ULVAC ULDIS-900-CHL은 또한 강력한 가스 방전 소스 (gas-discharge source) 를 통합하여 균일 한 고속 플라스마를 달성하여 정확한 광학 특성을 침전시킵니다. ULDIS-900-CHL의 로봇 암은 샘플 홀더의 정확한 자동 이동을 가능하게하도록 설계되었습니다. 이 도구는 스퍼터링 중에 샘플 홀더를 정확하게 이동하고 배치하여 단 한 단계로 멀티 스텝 코팅 프로세스 (multi-step coating process) 또는 복합 코팅 (complex coating) 을 허용합니다. 또한, 이 자산은 플랫 기판, 원통형 기판, 곡선 기판 등 다양한 기판에 대해 사용자 정의 가능한 기판 홀더를 지원합니다. 이 모델의 다른 기능 (예: 컴퓨터 제어 작동, 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스, 실시간 레시피 제어, 확장 옵션) 은 다중 계층 또는 다중 구성 요소 씬 필름 증착을 증설하기 위한 강력하고 사용자 친화적 인 도구입니다. 따라서, 이 스퍼터링 장비는 박막 및 광학 코팅의 산업 생산에 이상적입니다.