판매용 중고 ULVAC ULDIS-200UCP #9266626

ULVAC ULDIS-200UCP는 안정적이고 고품질 스퍼터링 프로세스를 제공하는 고성능 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 그것은 200mm 직경, 큰 외부 직경과 균일 한 스퍼터링을 가진 6 표적 구성으로 구성됩니다. 최적화된 플라즈마 생성 기술 및 고급 음극 재료 기술은 낮은 스트레스와 낮은 변형 스퍼터링 (sputtering) 을 가능하게하여 안정적이고 안정적인 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. ULDIS-200UCP는 높은 정확도의 델타 형 대상 회전 시스템과 6 축 로봇 헬기를 갖추고 있습니다. 또한, 개방형 챔버 디자인과 고효율 건식 5 단계 여과 장치는 복잡한 모양을 가진 기판에서도 증착 균일성을 개선 할 수 있습니다. 또한 정확한 온도 조절을 허용하는 고정밀 폐쇄 루프 온도 조절 기계가 있습니다. ULVAC ULDIS-200UCP는 또한 다중 프로세스 지원 구조를 가지고 있으며, 이를 통해 프로세스 압력 범위 및 진공 범위를 조정 할 수 있습니다. 이것은 박막 증착과 같은 스퍼터링 응용 프로그램을 위한 효율적인 기계입니다. 또한 자동 조정 (Auto-Tuning) 도구는 각 대상의 프로세스 매개 변수를 독립적으로 조정하여 최적화되고 안정적인 스퍼터링 성능을 제공합니다. 더욱이, 이 자산은 생성 된 스퍼터링 된 입자를 회수하고 재사용할 수있는 통합 에너지 회수 메커니즘을 가지고 있으며, 이는 폐기물을 줄이고 비용을 줄입니다. 이 모델에는 내장 온도 경보, 압력 감지 센서, 과부하 보호 등과 같은 최첨단 안전 기능도 있습니다. 또한, 고급 소프트웨어 제품군을 사용하면 프로세스 매개변수를 모니터링, 제어, 관리하여 스퍼터링 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 결론적으로, ULDIS-200UCP는 고유한 기능을 갖춘 고급적이고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장비로, 안정적이고 고품질 스퍼터링 프로세스를 지원합니다. 다중 프로세스 지원 구조는 정확하고 비용 효율적인 스퍼터링 (sputtering) 을 가능하게하며 에너지 복구 메커니즘은 효율적인 프로세스를 지원합니다. 또한 모든 사용자의 요구에 부합하는 포괄적인 안전 (Safety) 기능과 맞춤식 스퍼터링 프로세스를 갖추고 있습니다.