판매용 중고 ULVAC ULDiS-200 #9237375

ULVAC ULDiS-200은 박막 재료를 기판에 증착하도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 최대 8kW 소스, 전자 제어 진공 챔버, 쉽게 액세스 할 수있는 전면 개방 도어가 있습니다. ULDiS-200 소스는 DC 전원 공급 장치로 구동되는 무선 주파수 (RF) 유도 결합 중공 음극 장치입니다. 이 소스 머신은 이온과 중성 입자 (neutral particle) 로 기질을 폭격 한 고에너지 전자의 이온화 플라즈마 (ionized plasma) 를 생성하면서 상당한 증착 속도를 생성합니다. ULVAC ULDiS-200의 진공실은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 모든 안전 및 작동 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 약실 은 절연성 이 있고, 열적 으로 안정 되어 있는데, 이 진공 특성 이 뛰어나므로, 긴 증착 시간 에 "도구 '를 수행 할 수 있다. 디지털 압력 판독 (Digital Pressure readout) 은 정확한 압력 제어를 보장하는 반면, 전면 개방 도어는 기판을 로드 및 언로드할 때 쉽게 액세스 할 수 있습니다. ULDiS-200은 폴리 실리콘, 실리콘 산화물 및 질화물, 티타늄 질화물, 몰리브덴 등 다양한 물질 유형을 생성 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 정확한 두께 제어 및 균일성 (unifority) 을 수행하도록 설계되었으며, 최대 5 m 의 두꺼운 필름 레이어를 생산하기에 이상적인 선택입니다. 또한 ULVAC ULDiS-200에는 플라즈마 모니터링 및 온도 조절을위한 다양한 도구가 장착되어 있습니다. 이 모델에는 도가니, 미량 가스, 열전대 등 다양한 액세서리가 있습니다. 결과적으로, 사용자는 모든 증착 과정을 완전히 모니터링 할 수 있습니다. 전반적으로, ULDiS-200은 안정적이고 효율적인 스퍼터링 장비로, 양질의 박막을 생산할 수 있습니다. 최대 8kW 소스, 전자 제어 진공 실 (electronically-controlled vacuum chamber) 및 쉽게 액세스 할 수있는 전면 개방 도어가 있으며, 정확한 두께 제어 및 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 긴 증착 시간, 재료 유형 배열, 다양한 액세서리, ULVAC ULDiS-200은 두꺼운 필름 및 얇은 필름 생산에 적합합니다.