판매용 중고 ULVAC SV-9040-T14 #9055121

ULVAC SV-9040-T14는 반도체, 태양전지, 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 등 다양한 업계에서 고품질의 박막 (Thin Film) 을 생산할 수 있도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 멀티 타겟 유닛 (multi-target unit) 기능, 높은 생산성, 대형 기판 위의 고도의 필름 균일성과 같은 기능을 통합 한 고급 스퍼터링 시스템입니다. 이 기계는 4 개의 14 인치 타겟으로 구성된 멀티 타겟 설계를 사용하여 스퍼터 코팅 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 표적은 C 자형 패턴으로 배열되어 기판 위의 필름의 최적의 균일성을 보장합니다. 또한이 도구는 최대 300mm 크기의 기질에서 최대 2800nm/min의 높은 증착율을 제공합니다. 자산은 또한 박막 (thin film) 을 효율적으로 다시 스퍼터링하여 원하는 코팅 수준을 유지하는 이상적인 방법을 제공 할 수 있습니다. SV-9040-T14는 견고한 구성과 정확한 엔지니어링을 결합하여 뛰어난 위치 정확도, 온도 안정성, 프로세스 일관성을 갖춘 안정적인 스퍼터링 모델을 제공합니다. 이 장비는 스퍼터 증착 공정 (sputter deposition process) 을 최적으로 제어하기 위해 강력한 RF 전원 시스템을 갖추고 있으며, 정확하고 안정적인 스퍼터 증착을 위해 프로그래밍 가능한 기판 홀더를 사용합니다. 이 장치에는 또한 스퍼터 에칭 (sputter etching), 어닐링 (annealing), 스퍼터 증착 (sputter deposition) 과 같은 복잡한 프로세스를 자동화 할 수있는 자동 작업 모듈이 포함되어 있습니다. 이 모듈은 사용자 정의 기능이 뛰어나고, 사용자 편리하며, 이러한 요구 사항에 맞게 프로세스 매개 변수를 손쉽게 수정할 수 있습니다. 이 기계는 안전하고 생산적인 작동을 보장하기 위해 고품질 안전 (High-Quality Safety) 기능을 추가로 갖추고 있습니다. ULVAC SV-9040-T14는 다양한 업종의 고품질 박막 (Thin Film) 을 고정밀 스퍼터링하기 위한 이상적인 선택입니다. 이 스퍼터링 도구 (Sputtering Tool) 는 균일성, 정밀성, 신뢰성을 갖춘 고품질의 박막 (Thin Film) 을 빠른 속도로 생산할 수 있습니다. SV-9040-T14는 자동화 기능, 멀티 타겟 설계, 견고한 구조로 인해 까다로운 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.