판매용 중고 ULVAC SV-4540 #293775803

ULVAC SV-4540은 반도체, 광전자, MEMS, 데이터 스토리지 등 다양한 업종의 고성능 박막 증착 공정을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 고급 시스템은 정밀 제어 (precision control), 효율적인 작동 (efficient operation) 및 유연성을 결합하여 최신 박막 증착 어플리케이션의 까다로운 요구 사항을 충족시킵니다. SV-4540 스퍼터링 장치 (Sputtering Unit) 는 다양한 구성으로 직경이 450mm에 이르는 작은 조각까지 사용자 정의 가능한 기판 크기를 제공합니다. 이러한 유연성을 통해 사용자는 웨이퍼, 유리 패널, 유연한 기판, 코팅 (coating), 에칭 (etching), 표면 수정과 같은 다양한 응용 프로그램으로의 케이터링 등 다양한 기판에 박막을 배치할 수 있습니다. ULVAC SV-4540의 주요 하이라이트 중 하나는 고급 스퍼터링 기술로, 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 을 사용하여 균일하고 정확한 박막 증착을 달성합니다. 기계는 대상 소스에서 기판 표면으로 물질을 스퍼터 (sputter) 하기 위해 플라즈마 방전을 생성하는 고출력 마그네트론 소스를 갖추고 있습니다. 이 과정은 전체 기판 영역에 걸쳐 뛰어난 필름 품질, 높은 증착률, 뛰어난 필름 균일성을 보장합니다. SV-4540 스퍼터링 (sputtering) 툴은 탁월한 제어 및 모니터링 기능을 제공하여 최적의 박막 증착을 위해 프로세스 매개 변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이 자산은 GUI (Graphical User Interface) 를 갖춘 사용자 친화적 인터페이스를 통해 전력, 가스 흐름, 압력, 온도 등 주요 프로세스 매개변수를 실시간으로 시각화하고 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 고급 자동화 기능이 장착되어 있어 레시피를 정밀성 (precision) 과 반복 (repeatability) 으로 프로그래밍 및 실행할 수 있습니다. 또한, ULVAC SV-4540은 빠른 펌프 다운 시간, 빠른 기판 난방, 냉각, 안정적인 목표 활용과 같은 기능을 통해 높은 생산성과 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비에는 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 와 드라이 펌프 (dry pump) 와 같은 고성능 진공 펌프가 장착되어 있어 최적의 박막 증착을위한 높은 진공 수준을 달성합니다. 또한, 이 시스템은 증착 중 정밀한 온도 조절을 가능하게하고, 균일 한 필름 성장과 기판에 대한 우수한 접착을 보장하는 기질 가열 메커니즘을 특징으로합니다. 또한, SV-4540 은 사용자 지정 기능이 뛰어난 장치로서, 특정 프로세스 요구 사항과 애플리케이션에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 사용자는 다양한 옵션 및 구성 (예: 여러 대상 소스, 기판 바이어싱, 반응성 스퍼터링, 현장 내 프로세스 모니터링) 중에서 선택할 수 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 광학 코팅 (optical coating) 에서 반도체 장치 (semiconductor device) 에 이르기까지 다양한 애플리케이션의 프로세스 매개 변수와 박막 속성을 최적화할 수 있습니다. 결론적으로, ULVAC SV-4540 스퍼터링 머신은 박막 증착 어플리케이션을위한 최첨단 솔루션을 나타내며, 현대 반도체 및 광전자 산업의 요구를 충족시키기 위해 고성능 기능, 정밀 제어 및 다재다능성을 제공합니다. 고급 스퍼터링 기술, 직관적인 사용자 인터페이스, 사용자 정의 가능한 기능으로, SV-4540은 탁월한 균일성과 재현성을 갖춘 고품질의 박막 (Thin Film) 을 구현하기 위한 안정적이고 효율적인 도구입니다.