판매용 중고 ULVAC SRH-820 #9398866

ULVAC SRH-820은 금속 및 유전체 박막을 입금하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 직접 저항성 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 을 특징으로하여 스퍼터 속도의 정밀 제어 및 필름 두께 균일성을 통해 성능 및 신뢰성 향상이 가능합니다. ULVAC SRH 820의 작동 챔버에는 독특한 필름 형성 메커니즘 (Dual Now Vacuum Field Control (Denfield)) 이 장착되어 있으며, 정전기 실드와 강력한 마그네트론 소스를 결합하여 안정적인 프로세스 제어 및 고품질 필름을 얻습니다. 또한 제어 하드웨어, 소프트웨어, 재료, 컴포넌트 등을 갖춘 다양한 어플리케이션에 맞게 시스템을 사용자 정의하여 완성된 제품의 표면 및 필름 (surface/film) 구조를 최적화할 수 있습니다. SRH-820의 설계에는 균일성이 좋은 대용량 스퍼터 증착을 가능하게하는 고정밀, 저에너지 RF 마그네트론 소스가 포함되어 있습니다. 이 설계는 뛰어난 필름 균일성과 탁월한 입자 제어를 가능하게 하며, 이는 프로세스 안정성 향상, 디바이스 신뢰성 향상, TCO (총소유비용) 절감을 가져다줍니다. 이중 진공 설계는 또한 프로세스 유연성과 더 높은 증착률을 허용합니다. 또한, RF 마그네트론, DC/RF 마그네트론 및 모든 스퍼터링 구성 요소는 최대 110kW의 고출력을 수용하도록 설계되어 다양한 속도, 품질 및 필름 구조를 가진 증착이 가능합니다. 가장 널리 채택된 PC 제어 인터페이스 중 하나 인 Windows 기반 소프트웨어와의 SRH 820 호환성은 프로그래밍 및 장치 제어를 더 쉽게 해줍니다. 직관적인 인터페이스 (interface) 를 통해 사용자는 이전 데이터를 신속하게 액세스하고 다양한 절차 요구 사항에 맞게 여러 애플리케이션을 신속하게 설정할 수 있습니다. 또한, 내장 레코딩 머신은 추가 분석에 대한 자세한 문서를 제공합니다. 최적의 성능과 작동을 보장하기 위해 ULVAC SRH-820에는 긴급 전원 스위치, 압력/진공 표시기, 자동 입자 모니터 등 여러 가지 안전 기능이 있습니다. ULVAC SRH 820의 향상된 스퍼터링 기능 및 in-situ 진단 기능 (옵션) 은 다른 시스템에 비해 추가 이점을 제공합니다. 결론적으로, SRH-820 (SRH-820) 은 스퍼터 증착과 박막의 필름 형성을 정확하게 제어하도록 설계된 정교한 스퍼터링 도구입니다. Dual Now Vacuum Field Control, 다중 스퍼터링 소스, 광범위한 재질 호환성 및 내장 안전 기능으로, 고정밀도 및 고품질 어플리케이션을 위한 강력한 선택입니다.