판매용 중고 ULVAC SRH-820 #9384114

ULVAC SRH-820은 연구 및 생산 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 이중 목표와 함께 DC/RF 스퍼터링을 사용하며 평면 및 곡면 표면에서 증착할 수 있습니다. 그것 은 금속, 산화물, 질화물 과 같은 여러 가지 물질 의 박막 증착 에 가장 자주 사용 된다. 이 장치에는 가스 제거 기능, 마그네트론 소스, 정전기 기판 척 및 초고주파 마그네트론 소스가있는 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 가 포함됩니다. 초고주파 마그네트론 (Magnetron) 소스는 낮은 전력에서 높은 처리량으로 안정적인 스퍼터링 성능을 제공합니다. 8 축 정전기 기판 단계는 서로 다른 모양의 기질에서 효율적인 스퍼터링을 위해 회전 및 기울어 질 수있다. 챔버에는 곡면 스퍼터링을위한 가스 차폐 난류 제트 (gas-shielded turbulent jet) 와 큰 표면 위에 균일 한 스퍼터링을위한 자석 배열 (magnet array) 이 포함되어 있습니다. 이 약실 에는 또한 "트랜스미션 라인 '과" 미디어 필터' 배열 이 포함 되어 있어서, 공정 중 에 발생 하는 입자 와 다른 불순물 들 의 영향 을 감소 시킨다. 고출력 마그네트론 (magnetron) 소스도 조절 가능하며 짧은 증착 시간에 사용할 수 있습니다. 이 기계는 또한 -30 ~ + 250 ° C (-30 ~ + 250 ° C) 의 광범위한 온도를 가진 온도 조절 기판 단계를 제공하여 다른 온도에서 다양한 물질을 증착 할 수 있습니다. 이 도구에는 RF 전원, 대상 전류 및 기판 온도의 자동 제어를 위한 스퍼터링 컨트롤러도 포함되어 있습니다. 또한 안전 스위치 (Safety Switch), 비정상적으로 감지된 경우 경고 표시 (Warning Display) 등 다양한 안전 기능이 제공됩니다. ULVAC SRH 820은 작은 샘플에서 큰 기판까지 다양한 증착 응용 프로그램에 적합합니다. 안정성, 균일성, 신뢰성 등 다양한 재료를 손쉽게 감당할 수 있습니다 (영문). 고급 기능으로 SRH-820은 스퍼터링 응용 프로그램에서 인기있는 선택이되었습니다.