판매용 중고 ULVAC SRH-820 #293607565

ULVAC SRH-820 (ULVAC SRH-820) 은 광범위한 예금 어플리케이션을 위해 설계된 높은 수준의 고성능 스퍼터링 장비입니다. 최신 스퍼터링 기술을 통합하여 뛰어난 코팅 균일성, 재생성 및 처리량을 제공합니다. 이 시스템은 반응성 스퍼터링에 이상적이며 산화물, 질화물, 비정질 및 결정질 구조를 포함한 다양한 필름 유형을 생성 할 수 있습니다. ULVAC SRH 820은 고급 마그네트론 스퍼터링 유닛 (advanced magnetron sputtering unit) 과 기질의 최대 이온 폭격을 위해 독특한 양극 구성을 사용합니다. 이것은 우수한 접착력과 최소한의 접착 실패를 제공합니다. 또한, 기계는 최고 품질의 필름 형성을 보장하기 위해 전류 (current), 압력 (pressure) 및 유량 (flow rate) 을 포함한 다양한 프로세스 변수를 특징으로합니다. SRH-820의 가장 두드러진 기능 중 하나는 Dual Target Technology입니다. 이를 통해 개별 전력과 제어를 통해 하나의 단일 챔버에 2 개의 목표를 수용 할 수 있습니다. 각 표적은 독립적으로 작동 및 모니터링되며, 큰 기판 이상에서도 뛰어난 균일성을 제공합니다. 각기 다른 비율로 독자적인 목표물을 스퍼터링하여 다양한 필름 (film) 과 두께 (thickness) 요구 사항을 달성할 수 있습니다. SRH 820은 또한 고성능 및 복잡한 프로세스 어플리케이션을 위한 냉각 기능을 제공합니다. 닫힌 루프 냉각 도구 또는 공랭식 자산을 선택할 수 있습니다. 닫힌 루프 냉각 모델은 모든 기판에서 균일 한 증착을 보장하는 우수한 열 소산을 제공합니다. ULVAC SRH-820 (ULVAC SRH-820) 은 개방형 아키텍처로 설계되었으며, 산소, 질소 및 아르곤을 포함한 다양한 호환 공정 가스와 함께 사용하기에 적합합니다. 공정 안정성은 또한 PLC 제어 안전 논리 (PLC-controlled safety logic) 에 의해 보장되며, 기판 또는 장비의 손상 위험을 최소화하면서 최고 품질의 증착을 보장합니다. ULVAC SRH 820 (ULVAC SRH 820) 은 광범위한 대상 재료, 공정 가스 및 기판을 포함하도록 확장 할 수있는 기능으로 매우 다양합니다. 첨단 코팅 (coating) 업계의 강력한 성능과 고품질 (High-Level) 마감으로 빠르게 선택되고 있습니다.