판매용 중고 ULVAC SRH-530 #9409839

ULVAC SRH-530은 ULVAC Corporation에서 설계 및 제조 한 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 주로 영화 제작 응용 분야에 사용되며, 높은 진공 마그네트론 스퍼터링 프로세스를 사용합니다. 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 는 진공실 (vacuum chamber) 과 필름 증착 재료를 운반하고 공급하기위한 일련의 메커니즘으로 구성된다. 진공실은 10-2 ~ 10-6 Pa.의 압력 하에서 작동하도록 설계되었습니다. 로터리 펌프, 터보 분자 펌프 및 터보 분자 부스터 펌프가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 RF 전원 공급 장치, RF 매칭 네트워크, RF 플라즈마 소스, 스퍼터링 대상 및 셔틀 메커니즘도 포함됩니다. SRH-530은 잘 제어 된 마그네트론 스퍼터 필름 증착 과정을 제공합니다. 도구에 사용되는 RF 전원 공급 장치는 안정적인 DC 전압을 제공하며, 대상에 전류를 공급합니다. RF 매칭 네트워크 및 플라즈마 소스는 대상 재료를 스퍼터링하기 위해 플라즈마를 생성합니다. "셔틀 '장치 는 표적 을" 에셋' 으로 옮기고 표적 을 기판 으로 맞추는 데 도움 이 된다. 또한이 모델은 필름 증착 과정에 오염이없는 환경을 제공합니다. 이 장비는 RF 전력 수준, 가스 흐름 속도, 기판 온도 등 스퍼터링 프로세스 매개변수를 제어하는 데 높은 정확도를 제공합니다. 가스 흐름 속도는 주로 질량 흐름 컨트롤러에 의해 조절됩니다. 기판 온도는 온도 컨트롤러를 사용하여 제어 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 데이터 관리 및 프로세스 제어를 위한 강력한 소프트웨어를 갖추고 있습니다. ULVAC SRH-530 스퍼터링 장치는 반전 코팅, 보호 코팅, 전도성 레이어 및 광학 필름과 같은 고성능 필름을 생산하는 데 적합합니다. 이 기계는 반도체, 자동차, 전자 제품, 광학 등 여러 산업에서 사용할 수 있습니다. SRH-530은 컴팩트한 설계로 작동하기 쉽습니다. 성능과 정확성으로 인해 필름 증착 응용 프로그램을위한 고품질 선택이 가능합니다.