판매용 중고 ULVAC SRH-420 #9375715

ULVAC SRH-420 (ULVAC SRH-420) 은 박막 증착에서 표면 수정에 이르기까지 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 강력하고 안정적인 스퍼터링 장비입니다. 이 모델에는 최대 420mm 크기의 최대 5 개의 타겟을 쉽게 수용 할 수있는 1 개의 챔버 디자인이 있습니다. 높은 진공 시스템은 3 Pa ~ 5 Pa 범위의 압력을 가할 수 있으며, 박막의 안정적인 증착에 필요한 환경을 제공합니다. SRH-420에는 최적의 증착 매개변수를 보장하기 위해 향상된 압력 제어 장치가 장착되어 있습니다. 공정 조건이 바뀔 때, 그에 따라 보상이 가능하므로, 더 빠르고, 더 효과적인 증착이 이루어집니다. 또한, 기계는 일관된 필름 두께를 유지할 수 있으므로, 코트 (coat) 간에 눈에 보이는 차이없이 여러 레이어를 증착 할 수 있습니다. 이 도구는 3 상 DC 마그네트론 전원 공급 장치로 구동되며, 각 목표에 대해 최대 1kW의 전력을 제공 할 수 있습니다. 이 강력 한 자산 은 신속 한 증착율 과 기판 재료 에 대한 훌륭 한 "필름 '접착 을 가능 케 한다. UGC (Universal Gas Flow Control Model) 는 공정 대기를 정확하게 제어하여 진공 및 가스 보조 증착을 모두 허용합니다. ULVAC SRH-420 스퍼터링 장비는 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 매개변수가 사용자의 사양과 일치하지 않으면 시스템을 작동시키지 않게 하는 강력한 연동장치 (Powerful Interlock) 가 장착되어 있습니다. 또한, 종합적인 안전 모니터 (Safety Monitor) 장치가 통합되어 작업의 특정 오류를 감지하고 사용자에게 알립니다. 이로 인해 상당한 운영 오류가 발생할 위험이 줄어듭니다. 전반적으로 SRH-420 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 다양한 박막 증착 및 표면 수정 어플리케이션을 위한 강력하고 안정적인 솔루션입니다. 최대 420mm 크기의 챔버 (chamber) 설계와 향상된 압력 제어 기능을 제공합니다. 또한 강력한 마그네트론 (magnetron) 전원 공급 장치를 제공하여 각 목표에 대해 최대 1kW의 전력을 제공합니다. 안전 중심이며, 종합적인 안전 모니터 도구를 사용하여 운영 오류를 줄입니다.