판매용 중고 ULVAC SRH-420 #9156838

ULVAC SRH-420
ID: 9156838
빈티지: 2005
Sputtering system 2005 vintage.
ULVAC SRH-420은 강력한 박막을 만들 수있는 고성능 스퍼터링 장비입니다. 그것 (argon), 질소 (nitrogen) 및 기타 기체의 원자 규모 층을 통제 대기의 표적에 침착시켜 작동합니다. 그 결과, 얇은 금속, 산화물, 질화물 과 같은 원하는 화합물 이 균일 하게 증착 된다. 스퍼터 시스템은 혁신적인 기능과 함께 단일 (single) 또는 다중 소스 (multi-source) 배열을 사용하여 하나의 대량 소스에서 최대 4 개의 소스를 스퍼터링합니다. 각 스퍼터링 소스는 최대 3 와트의 플라즈마 전원을 생산할 수 있으며 자동 전원 제어와 호환됩니다. 이를 통해 증착률을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 필름 두께는 대상 컴포지션, 레이어 접착 (layer adhesion), 필름 두께 (film thickness) 와 같은 다양한 사용자 선택 가능 매개변수를 가능하게 하는 전용 도량형 단위를 사용하여 정확하게 측정됩니다. 스퍼터링 머신에는 다양한 프로세스 제어 기능 (예: 필름 증착률, 온도, 압력) 이 있습니다. 실리콘 (Silicon), 인듐 주석 산화물, 유리 및 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 같은 다양한 기질 재료를 제어 할 수있는 기능. 이 도구는 또한 알루미늄, 구리, 금, 은 등 수백 가지 대상 중에서 선택할 수있는 포괄적 인 스퍼터링 대상 (sputtering target) 관리 자산을 갖추고 있습니다. SRH-420은 고품질 박막 증착에 적합한 안정적이고 비용 효율적인 스퍼터 모델입니다. 중대형 스퍼터링 (sputtering) 경쟁 및 연구 실험에 이상적인 강력하고 사용자 친화적인 장치입니다. 균일 한 박막에 필수적인 탁월한 저온 증착 특성을 제공하면서, 필름 증착의 높은 반복성과 균일 성을 지원합니다. 결과적으로 ULVAC SRH-420은 다양한 산업을 위해 다양한 안정적인 증착 솔루션을 제공합니다.
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