판매용 중고 ULVAC SRH-420 #293830631

ULVAC SRH-420 스퍼터링 (sputtering) 장비는 얇은 필름, 특히 반도체 장치 제작에 사용되는 다용도 및 효율적인 도구입니다. 이 시스템에는 6 인치 인라인 통합 진공 챔버 구조의 5 축 로봇 동작 장치가 있습니다. 이 기계에는 수동으로 조절 가능한 각도 높이 (0-15 °) 와 스퍼터 대상의 정밀 타겟팅이 포함됩니다. SRH-420 의 추가 이점은 더 적은 설치 공간으로 인해 처리량이 증가하고 워크플로가 향상됩니다. 이 도구의 핵심에는 최대 4kW까지 작동하는 단일 주파수 소스 인 고성능 RF (무선 주파수 (radio-frequency)) 소스가 있으며, 일관되고 균일 한 출력을 제공합니다. RF 전원은 직접 접촉을 통해 스퍼터 (sputter) 목표와 비 접촉 유도 커플 링 (inductive coupling) 을 통해 스퍼터 (sputter) 목표에 적용 할 수 있으며, 이로 인해 유전체를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 또한, 자산은 최대 4 개의 재료를 동시에 증착하여 다중 계층 및 다중 구성 요소 박막 (Thin film) 을 생성 할 수 있습니다. ULVAC SRH-420은 온보드 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 작동되며, 이를 통해 사용자는 펌프 다운, 스퍼터 클리닝, 기판 로드/언로드, 기판 모니터링 등 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 레시피를 저장하고 실시간 프로세스 데이터와 함께 상세한 프로세스 보고서를 생성할 수 있습니다 (영문). 수소, 아르곤, 질소, 산소 및 기타 비활성 기체와 같은 다양한 공정 기체와 호환됩니다. SRH-420 스퍼터링 모델은 최고 품질의 박막 (Thin Film) 을 제공하도록 설계되었으며, 평면 패널 디스플레이, 반도체 장치, MEMS 및 기타 박막 기술 등 다양한 산업에 활용할 수 있습니다. 이 장비는 다용도가 높고 사용자 친화적 (user-friendly) 으로, 박막 증착을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 찾는 기업에 이상적인 솔루션입니다.