판매용 중고 ULVAC SRH-420 #293821025

ULVAC SRH-420은 반도체 업계의 선두 공급 업체 인 ULVAC에서 설계 및 제조 한 스퍼터링 장비입니다. 그것 의 주된 목적 은 얇은 "금속 '층 이나 다른 물질 을" 기판' 이나 반도체 "웨이퍼 '표면 에 쌓는 것 이다. SRH-420 은 단일 시스템에 4 개의 프로세스 챔버 (process chamber) 를 장착하여 여러 생산 프로세스의 요구를 충족하는 고성능 스퍼터링을 제공합니다. 특수한 이중 소스 타겟 드라이브 (Dual-Source Target Drive Unit) 가 장착되어 있어 두 재료를 한 번에 스퍼터링할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 전체 처리가 빨라지고, 필름의 균일성이 향상됩니다. 고품질 필름을 보장하기 위해 ULVAC SRH-420은 다양한 유형의 스퍼터링 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 독특한 바이어스 전압 제어 기계 (Bias Voltage Control Machine) 가 장착되어 있으며, 스퍼터 영역을 안정화하고 입자의 영향을 줄입니다. 또한, 코팅 과정에서 균일성 및 접착력을 향상시키기 위해 플로팅 존 프로세스 (하위 압력 스퍼터링) 가 있습니다. SRH-420 에는 경사 필름 (bevel film) 이 장착되어 있어 내구성 향상을 위해 기판의 습도가 향상됩니다. ULVAC SRH-420의 최대 기판 크기는 8 "X 4" 입니다. 이 도구는 유리, 실리콘, 석영, 일부 금속과 같은 다양한 기판과 호환됩니다. 자산은 두 개의 독립적 인 대상 (independent target) 을 사용하여 생산 과정에서 여러 재료를 사용할 수 있습니다. 스퍼터링 프로세스는 광선 방전, DC 마그네트론, 순차 스퍼터링 등 다양한 방식으로 작동하도록 조정 될 수 있습니다. SRH-420은 다른 유사한 시스템보다 높은 처리량과 높은 처리 정확도를 제공합니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 기능과 기능의 독특한 조합으로 제품 신뢰성을 높이는 고품질 필름이 생성됩니다. 이 모델은 안정적이고 견고하며 뛰어난 인체 공학을 제공합니다. 이 제품은 다운타임을 줄이고, 생산량을 늘리는 등, 장기간 지속적인 운영을 위해 설계되었습니다. 전반적으로 ULVAC SRH-420은 뛰어난 처리량과 필름을 약속하는 안정적인 기능의 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 다양한 공정 제어 (process control) 기능을 제공하며 다양한 기판에 고품질 필름을 생산할 수 있습니다. 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 에서 최고의 성능을 필요로 하는 사람에게는 최고의 선택입니다.