판매용 중고 ULVAC SPW-030S #9034013

ULVAC SPW-030S는 반도체 및 기타 재료의 고정밀 샘플 준비를 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 평면 마그네트론 스퍼터링 소스, 트윈 플레인 셔터 및 높은 진공 챔버가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 5 ~ 120 W의 전력 범위를 가진 고/저 스퍼터링 전력 응용 프로그램을 처리 할 수 있습니다. 또한, SPW-030S에는 고급 스퍼터링 소스 냉각 장치 (Sputtering Source Cooling Unit) 가 장착되어 있어 고효율 스퍼터링 프로세스와 안정적인 챔버 순환이 가능합니다. 이 기계는 또한 신뢰할 수있는 자동 스퍼터링 파워 컨트롤 (sputtering power control) 과 균질한 스퍼터링 증착율을 갖추고 있습니다. ULVAC SPW-030S의 진공실에는 최대 1 x 10-6 Torr의 진공을 달성 할 수있는 세라믹 터보 펌프가 장착되어 있습니다. 또한 AOI (In-Situ Angle Of-Incidence) 뷰 포트를 사용하여 사용자가 원격으로 정확하게 프로세스를 모니터링 할 수 있습니다. 또한, 프로세스 모니터링을위한 충분한 시청 영역을 제공하는 대형 터널 창이 있습니다. SPW-030S 스퍼터링 도구는 금, 은, 알루미늄, 티타늄 및 실리콘을 포함한 수많은 재료를 처리 할 수 있습니다. DC (Direct Current) 또는 RF (Radio Frequency) 전원에서 실행되도록 설계되었으며 다양한 애플리케이션별 프로세스에서 사용할 수 있습니다. 또한, 에셋은 가스배송 모델 (gas delivery model) 을 통해 다른 프로세스 요구 사항에 따라 가스전속 (gas flow rate) 과 압력 (pressure) 을 조정할 수 있습니다. ULVAC SPW-030S 스퍼터링 (sputtering) 장비는 반도체 및 기타 재료의 정확한 샘플 준비에 적합하며, 균일성과 효율성이 높습니다. 읽기 쉬운 제어 시스템, 고급 냉각 기능, 놀라운 스퍼터링 안정성 등은 안정적이고 안정적인 프로세스를 보장합니다. 전반적으로, SPW-030S는 스퍼터링 프로세스를 월등히 제어하는, 고급적이고 견고한 스퍼터링 장치입니다.