판매용 중고 ULVAC SMR-2110E #9078345

ULVAC SMR-2110E는 다양한 산업에서 사용하도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 유연한 구성과 고정밀 (high-precision) 제조는 학술 및 산업 연구에서 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공합니다. SMR-2110E는 알루미늄, 합금 재료, 세라믹 유전체 및 산화물과 같은 최대 10 개의 대상 재료를 지원하는 다중 기판 스퍼터 증착 시스템입니다. 고주파 마그네트론과 빠른 가스 흐름 (gas-flow) 장치를 사용하여 우수한 균일성과 높은 증착률을 제공합니다. 모듈식 기능을 통해 간편한 유지 관리 및 수리 작업을 수행할 수 있습니다. ULVAC SMR-2110E에는 Al 2 O 3/SiO 2 목표 격리 챔버가 장착되어 있어 최대 샘플 보호가 가능합니다. 기판 홀더는 스퍼터링 중에 우수한 균일성과 최소 샘플 드리프트 (sample drift) 를 제공하도록 설계되었습니다. 복잡한 다색 및 다층 스퍼터링 프로세스를 단순화하는 직관적 인 프로그래밍 소프트웨어 인터페이스가 제공됩니다. 이 기계는 또한 고급 진공 기술을 갖추고 있으며, 기본 압력을 2.5x10-6 Pa까지 허용합니다. 이온 클린 툴 (ion clean tool) 이 장착되어 입자 제거 기능이 향상되었으며, 진공 환경이 깨끗해집니다. 프로그램 가능한 가스 주입 및 고급 디지털 제어 가스 공급 시스템 (Advanced Digitally-Controlled Gas Supply System) 을 통해 여러 가스 처리를 수행 할 수 있습니다. SMR-2110E는 고속 증착 옵션을 제공하여 대상 재료에 따라 최대 30 미크론/초의 박막 증착 속도를 달성 할 수 있습니다. 우수한 반복 가능성과 프로세스 제어를 제공하여 안정적이고 재현이 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 스퍼터링 속도는 외부 전원 공급 장치 또는 포함된 외부 입력 기능 (external input capability) 으로 세밀하게 조정할 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC SMR-2110E는 뛰어난 스퍼터링 자산으로, 다양한 응용 프로그램을 제공 할 수 있습니다. 고정밀 제조, 고급 진공 기술, 직관적인 프로그래밍 소프트웨어를 통해 안정적이고 정밀한 성능을 제공합니다. 조정 가능한 스퍼터링 속도, 다양한 목표 재료 및 우수한 반복 성 (excellent repeatability) 은이 모델이 매우 다양하며 다양한 연구 요구 사항에 적합합니다.