판매용 중고 ULVAC SME-200U #9392580

ID: 9392580
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2006
Sputtering system, 6" Power supply: 200 V ±10%, 60 Hz, 36 kVA, 104.1 A, 3-Phase 2006 vintage.
ULVAC SME-200U는 Ultra-Low Vacuum Co.에서 개발 한 강력하고 안정적인 스퍼터링 장비입니다. Ltd. (ULVAC). 전자, 자동차, 항공 우주, 장식 코팅, 의료 어플리케이션 등 다양한 산업에서 사용하도록 설계되었습니다. ULVAC SME 200 U는 다양한 기판 재료에 얇고 균일 한 층의 물질을 증착시키는 데 효과적입니다. 로보틱 컨트롤러 (robotic controller) 를 사용하면 시스템 및 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 최대 압력 범위가 200 밀리토르, 챔버 크기가 480mm x 620mm인 SME-200U는 대형 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 안전하고 사용자 친화적으로 설계되었으며, 안전하고 안정적인 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. SME 200 U는 강력한 DC/RF 전원 공급 장치로 구동되며, 균일하고 오래 지속되는 스퍼터 증착을 보장합니다. 또한 마그네트론 (Magnetron) 또는 평면 목표 (Planar Target) 를 선택하여 광범위한 재료를 예치할 수 있습니다. 또한이 도구는 대기 압력 및/또는 최대 10-4 torr의 진공을 포함하여 다양한 가스 흐름 체계를 제공합니다. 또한, 기판을 빠르게 로드하고 청소할 수 있는 로드/언로드 자산도 포함되어 있습니다. ULVAC SME-200U 는 여러 가지 고급 기능을 갖추고 있어 시장에서 가장 발전된 스퍼터 (sputter) 증착 시스템 중 하나입니다. 예를 들어, 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 기능을 제공하여 사용자가 스퍼터 증착 과정을 쉽게 추적할 수 있습니다. 또한, 정교한 RF- 마이크로파 전원 제어 모델을 통해 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 이를 통해 사용자가 프로세스를 세밀하게 조정하여 최적의 스퍼터링 결과를 얻을 수 있습니다. 요약하자면, ULVAC SME 200 U는 고급, 자동화되고 신뢰할 수 있는 스퍼터링 장비로, 광범위한 산업에 적합합니다. 이 제품은 사용자가 정확한 DC/RF 전원 제어, 로드/언로드 시스템, 정교한 진단 및 데이터 로깅 장치 (Data Logging Unit) 등 스퍼터링 어플리케이션에 적합한 다양한 기능을 제공합니다. 안전하고, 효율적이며, 사용자 친화적이며, 신뢰할 수 있는 스퍼터링 머신이 필요한 어플리케이션에 적합합니다.
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