판매용 중고 ULVAC SME-200U #9107279

ULVAC SME-200U는 박막 엔지니어링에 사용하도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 각각 통합 컨트롤러가 장착된 2개의 독립 전원 공급 장치 (최대 DC 전류 400mA) 를 통해 최대 200W 의 전력을 제공합니다. 이렇게 하면, 귀금속, 유전체, 도자기, 반도체 재료 등 매우 다양 한 물질 을 여러 가지 두께 와 증착 속도 로 증착 시킬 수 있습니다. ULVAC SME 200 U는 4 점 마그네트론 스퍼터링 건 구성을 사용하여 재료 활용도와 프로세스 균일성을 향상시킵니다. 4 점 소스 디자인 (source design) 은 여러 대상의 통합과 다른 재료의 레이어를 동일한 주기로 배치하는 기능을 더욱 용이하게합니다. 이 장치는 또한 고압 및 고온에서 성능 향상을 위해 특별히 설계된 벨 항아리 챔버 (bell jar chamber) 를 자랑합니다. 이 장치는 초고진공 (UHV) 처리를 위해 설계되었으며, 황삭 펌프, 다단 포라인 트랩, 가스 정화 기계 및 고급 제어 도구와 같은 다른 기능을 포함합니다. 이 자산은 스퍼터링의 다양한 적용을 허용합니다. 이중 전원은 짧게 (short), 넓게 (broad), 좁게 (narrow) 등 다양한 패턴으로 재료를 증착할 수 있습니다. 모델의 유연성은 또한 커다란 회전 대상 서피스 (rotated target surfaces) 와 금속 스텐트 (metal stent) 의 증착과 같은 평면 및 회전 스퍼터링 프로세스를 모두 허용합니다. 또한, 2 개의 기판을 사용하는 다중 대상 (multi-target) 기능을 통해 단일 회전에서 동시에 위/아래 레이어를 적용할 수 있습니다. 또한 SME-200U 는 반응성 스퍼터링 (sputtering) 을 위한 3 개의 가스 작동 기능을 제공하여, 추가 가스 매니 폴드가 필요 없이 이 모드를 프로세스에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 이 장비에는 내장 진공 진단 및 안전성 향상을 위한 오프 펌프 아크 감지 시스템 (off-pump arc detection system) 이 포함됩니다. 마지막으로, 프로그래밍 가능한 자동화 장치 (automation unit) 는 시스템에 향상된 안정성과 재생성을 추가하여 대용량 작업에 이상적입니다. 전반적으로, SME 200 U는 박막 증착을위한 강력하고 안정적인 스퍼터링 플랫폼을 제공합니다. 이중 전원 공급 장치 (Dual Power Source) 와 유연한 구성 (Flexible Configuration) 을 통해 다양한 프로세스를 보다 정확하고 반복적으로 수행할 수 있으므로 광범위한 업계에서 귀중한 툴이 될 수 있습니다.