판매용 중고 ULVAC SME-200LDM #9055124

ULVAC SME-200LDM은 다양한 산업 코팅 요구를 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 공정 매개변수 (process parameter) 와 높은 증착율 (deposition rate) 기능을 제어하는 동시에 레이어 증착의 탁월한 균일성을 제공합니다. 이 시스템에는 고급 멀티 포켓 스퍼터 (Sputter) 표적 어셈블리가 장착되어 있으며, 직경이 80mm 인 최대 12 개의 라운드 표적이 균일하고 정확한 필름 증착을 제공 할 수 있습니다. 멀티 포켓 (multi-pocket) 배열을 통해 운영자는 다른 스퍼터링 대상을 활용하거나 증착 공정의 다른 위치로 대상을 이동할 수 있습니다. SME-200LDM은 기판과 표적 사이에 150mm 간격의 진공 챔버를 특징으로합니다. 이를 통해 최대 330mm 직경의 기판을 코팅 할 수있는 큰 스퍼터링 영역과 높은 증착률 (deposition rate) 이 가능합니다. 고효율 무유 스크롤 (scroll) 유형의 다이렉트 드라이브 (direct-drive) 기계식 펌프가 장착되어 있어 신속한 대피와 다운타임을 최소화합니다. 또한, 이 장치는 성능 향상을 위해 외부 진공 펌프와도 호환됩니다. 최고 수준의 균일성을 보장하기 위해 ULVAC SME-200DM에는 기판과 표적 사이의 기판 곡률 및 변동 격차를 보완하는 동적 마일라 마스크 스캐너 (dynamic mylar mask scanner) 가 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 고품질 코팅을 빠르게 달성하기 위해 동적 셔터 어셈블리 (dynamic shutter assembly) 를 갖추고 있습니다. 셔터 어셈블리 (shutter assembly) 는 기판 모양이나 형상의 변화에 관계없이 균일 한 증착률을 유지하기 위해 이동할 수 있습니다. SME-200LDM에는 고유한 PWC (Process Window Controller) 도 장착되어 있습니다. PWC는 전체 스퍼터링 (Sputtering) 프로세스를 최적화하여 처리량 및 품질 향상을 위해 증착율 (Deposition Rate), 필름 두께 (Film Thickness) 및 표면 토폴로지 (Surface Topology) 를 실시간으로 분석하는 소프트웨어 패키지입니다. 마지막으로, 이 도구는 전체 프로세스 제어 및 모니터링을 지원하는 컨트롤러 (controller) 패널로 구성됩니다. 모든 자산 매개변수는 사용자 요구에 맞게 쉽게 설정, 모니터링, 조정할 수 있습니다. 따라서 스퍼터링 (Sputtering) 모델은 매우 유연하며 원하는 배치 프로파일을 달성하기 위해 빠르게 조정할 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC SME-200LDM은 우수한, 균일 한, 통제 된 존 커버리지, 높은 증착율을 제공 할 수있는 고급 스퍼터링 장비입니다. 다용도와 광범위한 기능으로 인해 다양한 코팅 (coating) 요구에 이상적인 선택이되었습니다.