판매용 중고 ULVAC SME-200J #9357605

ULVAC SME-200J는 ULVAC Technologies, Inc.에서 제조 한 스퍼터링 장비입니다. 범용 재료 스퍼터링 및 박막 증착, 접착, 전극 제조와 같은 응용 분야를 위해 설계되었습니다. ULVAC SME 200 J는 기본 캐비닛과 대상 홀더 유닛을 포함하는 자체 포함 스퍼터링 시스템이며, 작동 척, 다수의 샘플 홀더, 전원 공급 덮개, 배기 기계 및 스퍼터링 소스 (최대 8 개의 스퍼터링 건) 가 장착되어 있습니다. SME-200J의 디자인은 전원 설정이 다른 여러 소스의 동시 작동을 가능하게하여 MOS (Metal Oxide Semiconductor) 증착, 박막 증착 및 전극 제조와 같은 프로세스에 적합합니다. 의도한 응용 프로그램에 따라 증착률을 쉽게 조정할 수 있습니다. 대상 재료는 알루미늄, 구리, 금, 티타늄, 니켈, 탄소 등으로 만들어집니다. 표적 물질에 따라, 스퍼터링 가스는 아르곤, 질소, 수소 또는 산소 가스에서 적절하게 선택됩니다. 스퍼터 프로세스 간의 샘플 변경-오버 (change-over) 에 필요한 시간을 최소화하기 위해 로드 잠금 메커니즘이 제공됩니다. SME 200 J는 또한 컨트롤러를 갖추고 있으며, 사용자는 현재 밀도, 챔버 압력, 전력, 가스 흐름 등 스퍼터링 매개변수를 쉽게 설정하고 유지 관리할 수 있습니다. 또한 도구 모니터 화면에는 온도, 압력, 챔버 상태, 총 스퍼터링 시간 등의 프로세스 조건이 표시됩니다. ULVAC SME-200J 스퍼터링 자산은 많은 박막 증착 응용 프로그램을위한 다용도 도구입니다. 신뢰성이 높으며, 프로세스 매개 변수를 쉽게 작동하고 조정할 수 있습니다. 이 모델은 또한 여러 소스 (source) 를 동시에 작동시켜 원하는 스퍼터링 (sputtering) 출력을 빠르고 안전하게 달성할 수 있도록 합니다.