판매용 중고 ULVAC SME-200J #9266438

ULVAC SME-200J 스퍼터링 장비는 박막 증착에서 다양한 금속 화 프로세스를 위해 설계된 다재다능한 시스템입니다. 공정을 수용하는 챔버와 함께 스퍼터 플라즈마 (sputter plasma) 를 생산하기위한 RF 전원 공급 장치로 구성되어 있습니다. 이 장치는 다양한 표적과 가스를 처리 할 수 있으며, 광범위한 스퍼터링 (sputtering) 기술을 제공합니다. ULVAC SME 200 J 스퍼터링 챔버 (Sputtering Chamber) 는 목표물에 수직으로 배열 된 두 세트의 자석이있는 평면 마그네트론을 사용하여 플라즈마 밀도를 제어 할 수 있습니다. 이 기계 는 또한 자석 을 회전 시켜 "스퍼터 '를 한 물질 의 균일성 을 최적화 할 수 있다. 챔버에는 2 개의 40cm 표적, 표적 피드 스루, 가스 피드 스루 및 챔버 대피를위한 진공 포트가 포함됩니다. 오염 위험을 줄이기 위해 특별한 환기 계약도 있습니다. 스퍼터링 프로세스를 제어하기 위해 도구는 프로그래밍 가능한 인터페이스를 갖추고 있습니다. 연산자는 프로세스 매개변수와 작업 순서를 설정할 수 있습니다. 대상 전류, 압력, 가스 제어, 플라즈마 조건과 같은 매개변수를 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 이 인터페이스는 또한 레시피 저장 및 플라즈마 측정 모니터링을 허용합니다. SME-200J는 필름의 균일 한 코팅으로 많은 기판 영역을 처리합니다. 비상 정지, 온도 모니터 및 보안 자산으로 제작되었습니다. 알루미늄, 스테인레스 스틸, 쿼츠, 플라스틱 등 다양한 유형의 기판과 호환됩니다. 스퍼터링 모델은 LCD 패널, 태양전지 생산과 같은 박막 증착 프로세스에 이상적입니다. SME 200 J 스퍼터링 장비는 강력하고 다용도 박막 증착 장치입니다. 조정 가능한 매개 변수, 넓은 스퍼터 영역, 다양한 스퍼터링 기술을 통해 ULVAC SME-200J는 많은 박막 프로세스에 효과적인 도구입니다.