판매용 중고 ULVAC SME-200J #293609370

ULVAC SME-200J는 세로로 정렬 된 스퍼터링 장비로, 박막 코팅 응용 프로그램에 널리 사용됩니다. 진공실, 회전식 스퍼터 헤드, 전원 공급 장치 등 3 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 챔버는 일반적으로 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 펌핑 포트, 공정 가스 및 증착 밸브를 포함합니다. 챔버에는 표면 오염을 제거하기위한 대피 과정도 있습니다. 회전 스퍼터 헤드 (sputter head) 에는 하나 이상의 음극이 포함되어 있으며, 이 음극은 전원에 의해 구동되어 챔버에 이온을 생성합니다. "스퍼터 '머리 는 얇은" 필름' 을 기판 으로 증착 시키는 운동량 을 공급 한다. 이 "시스템 '에는 또한 조정 가능 한" 가스' 압력 조절기 와 공정 "가스 '" 밸브' 가 들어 있는데, 이것 은 "스퍼터링 '과정 중 에" 플라즈마' 대기 를 조정 하는 데 사용 할 수 있다. 이 장치는 교류 (AC) 로 구동되며, 이는 음극에 적용됩니다. 음극이 움직이면서, 그들은 제어 공간 패턴으로 전기장을 만듭니다. 이 전기장 은 "기질 '의 전기 전하 를 주므로, 얇은" 필름' 을 기판 으로 증착 시킨다. 이 과정을 스퍼터링이라고합니다. 또한 "스퍼터 '머리 속 의" 스퍼터' 원 은 얇은 "필름 '이 기판 에 균일 하게 증착 되어 있는지 확인 할 책임 이 있다. 그것 은 성분 "가스 '와 반송파" 가스' 를 기판 에 뿌린다. 여기서 성분 은 짝수 층 에 증착 된다. "스퍼터 '원 은 또한" 캐리어' "가스 '를 다른 모양 과 크기 로 뿌려 박막 의 두께 를 변화 시키는 데 사용 될 수 있다. 스퍼터링 전압 (sputtering voltage), 전력 (Power), 강착 압력 (deposition pressure) 및 반응성 가스 흐름 (reactive gas flow) 과 같은 프로세스 변수를 제어함으로써 박막은 특정 응용 프로그램의 원하는 속성에 도달 할 수 있습니다. ULVAC SME 200 J 머신은 박막 코팅 어플리케이션을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 그 특징은 자동차, 광학, 의료 기구 코팅 등 다양한 산업 분야에 적합합니다. 스퍼터링 도구 (Sputtering Tool) 의 효율적인 설계와 변수를 제어하는 기능은 씬 필름 (Thin Film) 을 배치하여 모든 응용 프로그램의 원하는 특성으로 구성 요소를 제작하는 데 매우 적합합니다.