판매용 중고 ULVAC SME-200J #293597222

ULVAC SME-200J는 반도체, 마이크로 전자 제품, 하드 디스크 미디어 및 부품, 광전자 장치, 광학 장치 등 업계에서 사용하도록 설계된 최고의 스퍼터링 장비입니다. 고급 증착실, 효율적인 로드 잠금 챔버, 정확한 제어를 갖춘 자동 스퍼터링 시스템입니다. ULVAC SME 200 J는 효과적인 직사각형 모양의 증착 챔버 (deposition chamber) 를 가지고 있으며, 입자의 균일 한 분포와 물질 증착 정확성 향상을 가능하게한다. 결과적으로, 부품은 일관되고 반복 가능한 필름 두께로 잘 퇴적됩니다. 내부는 또한 높은 청결을 특징으로하며, 오염을 최소화하고 정확한 증기 증착으로 부품을 생산하는 데 도움이됩니다. SME-200J의 통합 로드 락 챔버는 부품을 빠르고 정확하게 로드하고 언로드합니다 (6 "× 6" 또는 8 "× 8"). 챔버에는 조정 가능한 압력 (최대 5 단계) 이 있으며, 부품의 부드럽고 정밀한 로드 및 언로드가 가능합니다. 또한, 챔버는 가스가 단단하여 오염과 원치 않는 미립자를 예방합니다. SME 200 J에는 닫힌 루프 피드백 제어 및 화면 상의 메뉴 기반 프로그래밍을 포함하여 프로세스 안정성을 높이는 정확한 제어 기능이 있습니다. 이것은 또한 1 Å의 정확도로 150 Å-3500Å의 범위에서 증착 된 필름의 정확한 두께 제어를 가능하게한다. 증착 매개 변수는 자동화 및 소프트 세분화를 위해 프로그래밍 될 수 있으며, 프로그래밍 가능한 정교함을 더욱 향상시킵니다. 또한 ULVAC SME-200J에는 인원과 장비의 안전을 보장하는 다양한 안전 설치가 있습니다. 이 장치에는 압력 센서, 비정상적인 작동을위한 응급 보호 장치, 강화 진공 덮개 및 진공 전 통풍구가 장착되어 있습니다. 즉, 운영자 보호 수준이 높으며, 운영 환경에서도 원활하고 안전한 운영을 허용합니다. 전반적으로 ULVAC SME 200 J는 반도체, 마이크로 전자 제품, 하드 디스크 미디어 및 부품, 광전자 장치, 광학 장치 등 업계에서 가장 까다로운 어플리케이션을 충족하도록 설계된 올인원 스퍼터링 머신입니다. 정밀도 증착 챔버 (high-precision deposition chamber) 와 정확한 제어 기능을 갖춘 효율적인 로드 락 챔버 (load-lock chamber) 를 통해 높은 재료 증착 정확도, 일관성 있고 반복 가능한 필름 두께, 안전한 작동을 보장합니다.