판매용 중고 ULVAC SME-200E #9392582

ULVAC SME-200E는 고급 산업 및 연구 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 회전 가능하고 조절 가능한 스퍼터 소스 (sputter source) 와 기판 홀더 (substrate holder) 가 특징이며, 광범위한 증착 및 표면 처리 프로세스를 달성 할 수있는 유연성을 제공합니다. SME-200E는 모든 필름 두께에 대해 깨끗하고, 균일하며, 높은 증착율을 제공 할 수 있습니다. ULVAC SME-200E는 최첨단 마그네트론 스퍼터링 소스로 구성됩니다. 마그네트론 스퍼터링 소스의 힘은 0 ~ 1000 와트에서 변할 수 있으며, 광범위한 표적과 필름 두께를 허용합니다. 기판 홀더는 조절 가능하며 직경 12 인치, 두께 0.008 ~ 0.125 인치의 기판을 수용 할 수 있습니다. 이를 통해 평면 패널 디스플레이, LSI 및 MEMS 장치, 자기 광학 디스크, 초전도 필름 및 광학 필름과 같은 다양한 응용 프로그램이 가능합니다. SME-200E 는 일련의 제어 시스템을 통해 스퍼터링 프로세스의 고정밀 제어를 제공합니다. 내부 컨트롤러를 사용하면 전극, 스퍼터링 파워, 회전 속도, 필름 두께를 제어할 수 있습니다. ULVAC SME-200E의 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 또한 구성 요소가 다른 복잡한 필름을 증착 할 수 있습니다. 이 장치 에는 광학 "피로미터 '가 장착 되어 있는데, 이" 피로미터' 를 사용 하여 "기판 홀더 '의 온도 를 모니터링 할 수 있다. SME-200E는 정전기 실드 (electrostatic shield) 와 통합 가스 분배기 (integrated gas distribution machine) 로 구성되어 초고진공에서 대기압까지 다양한 환경에서 필름을 증착 할 수 있습니다. 또한, ULVAC SME-200E는 챔버 내 아르곤, 산소, 질소와 같은 가스의 농도를 측정하기 위해 외부 장치에 연결 될 수있다. 중소기업 (SME-200E) 은 신뢰성과 반복성을 보장하기 위해 설계되었으며, 다양한 생산 및 연구 프로세스에 이상적인 선택입니다. 이 도구는 결함이 적고 수익률이 높은 균일 한 필름을 제공 할 수 있습니다. 또한, 자산의 모듈식 설계를 통해 모델의 확장, 업그레이드, 서비스를 손쉽게 수행할 수 있어 유연성, 비용 효율성이 향상됩니다.