판매용 중고 ULVAC SME-200E #9379717

ULVAC SME-200E는 반도체 처리를 포함한 다양한 응용을위한 박막 증착을위한 스퍼터링 장비입니다. 전자기학과 스퍼터링을 결합하여 경직하고 유연한 기판에 코팅 필름을 생성하는 방법 인 확장 자기 향상 (EME) 스퍼터링 (extended magnetic-enhanced sputtering) 을 사용합니다. 스퍼터 코팅 시스템 (sputter coating system) 은 고도의 증착력 균일성과 고품질 필름 제작을위한 정밀도를 갖춘 고급 기술을 갖추고 있습니다. SME-200E에는 신뢰할 수 있는 다운 제트 선형 타겟 구성이 있습니다. 이를 통해 3 차원 에칭과 높은 진공에서 스퍼터 (sputter) 기능을 갖춘 정확한 목표 작동이 가능합니다. 이 장치에는 이스트/웨스트 (East/West) 로터리 평면이 포함되어 있으므로 유지 보수가 쉽고 다양한 기판과의 호환성이 향상됩니다. 폐쇄 루프 제어기는 직경이 최대 200mm 인 박막에 매우 안정적이고 균일 한 스퍼터링을 제공합니다. 이 도구에는 접촉하지 않는 기판 조작 및 전송을위한 자동 로드, 자동 언로드 자산도 포함됩니다. 이는 뛰어난 생산량을 통해 정확한 포지셔닝을 보장합니다. ULVAC SME-200E에는 이중축 회전 단계 (이중축 회전 단계) 가 포함되어 있으며, 증착 균일성 향상 및 회전 터릿 샤워 모델이 포함되어 있어 빠르고 간단한 대상 재료 교환이 가능합니다. 새로 생성 된 증착실 (deposition chamber) 은 목표 및 기판 조건을 보존하여 모든 유형의 코팅 재료를 시운전할 수 있습니다. 이 독특한 스퍼터링 장비는 프로세스 작업, 증착 제어 및 레시피 프로그래밍을위한 ULVAC 전용 Pack-Anime 소프트웨어도 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 레시피 편집, 모니터링, 분석 도구를 제공하여 뛰어난 코팅 균일성을 통해 효율적이고 반복 가능한 작동을 가능하게 합니다. 사용자 친화적 인터페이스는 유지 보수 및 조정을 위한 다운타임을 최소화하면서 높은 생산성을 보장합니다. SME-200E 스퍼터링 시스템은 고품질 박막 제작을 위해 설계되었습니다. 우수한 기술과 고급 기능으로 반도체 소자를 위한 다양한 코팅 (coating) 을 반복, 균일, 정확하게 증착할 수 있습니다.