판매용 중고 ULVAC SME-200E #9359649

ULVAC SME-200E는 장벽/캡슐화 (barrier/encapsulation) 및 광학 코팅 (optical coating) 과 같은 용도로 고품질의 균일 한 필름 증착을 제공하는 고급형 스퍼터 증착 장비입니다. 이 "필터 '는 입자 와 파편 을 제거 하여 표면 상태 를 최적 으로 보장 해 주는 자기" 필터' 를 갖추고 있다. 이 장치는 박막 증착에 DC/RF 마그네트론 스퍼터링 기술을 사용하며, 플라즈마 소스 및 기판 토치를 사용하여 스퍼터링 효율을 극대화합니다. SME-200E는 2 개의 SM-II 자기 실드와 원형 모양의 석영 튜브를 포함한 챔버를 갖추고 있습니다. 이 디자인은 우수한 품질의 필름과 기판의 균일 한 필름 분포를 보장합니다. ULVAC SME-200E는 최적의 스퍼터링 조건에 대한 자동 전력 최적화, 경보 (alarm) 문제 해결이 가능한 자체 진단 시스템, 과열 (over-thermal) 또는 과압 (over-pressure) 조건에 대한 보호 기능을 제공합니다. 이 장치에는 우수한 진공 수준 및 압력 제어를위한 스테이지 진공기 (stage vacuum machine) 와 진공 컨트롤러 (vacuum controller) 및 수동 밸브 (manual valve) 가 장착되어 스퍼터 증착을위한 안정적인 진공 환경을 보장합니다. 또한 SME-200E 는 동작 제어 툴 (Motion Control Tool) 과 함께 제공되는데, 이 도구는 빠르고 정확한 단계와 반복 동작을 제공하며 외부 구성 요소와 함께 사용할 수 있는 통합 전기 연결도 제공합니다. ULVAC SME-200E는 티타늄, 크롬, 알루미늄, 니켈, 구리, 텅스텐 및 금뿐만 아니라 인듐-틴 산화물 (ITO), 다이아몬드 유사 탄소 (DLC) 및 Ta2O5를 포함한 모든 금속 층을 증착 할 수 있습니다. 자산은 또한 유기 분자의 온도 의존적 증발을 허용합니다. SME-200E 는 다양한 보호 기능과 안전 시스템 (Safety System) 을 갖추고 있어 장치와 사용자의 손상을 방지합니다. 특수 "가스 '를 사용 하기 위하여 필요 한 모든 안전 및 건강 지침 을 지켜야 한다. 결론적으로, ULVAC SME-200E는 박막 증착을위한 고급 스퍼터링 모델로, 모든 유형의 기판에서 다양한 물질에 대한 안정적이고 균일 한 증착을 제공합니다. 자석 필터 (magnetic filter) 및 기타 안전 (safety) 기능은 안전하고 효율적인 작동을 보장하는 반면, 모션 제어 장비, 진공 시스템 및 자동 전력 최적화는 더 빠른 기판 처리를 용이하게합니다. 다양한 어플리케이션과 고급 기능을 갖춘 SME-200E 는 박막 증착에 매우 유용한 툴입니다.