판매용 중고 ULVAC SME-200E #9271044

ULVAC SME-200E
ID: 9271044
Sputtering system Type: Cluster.
울VAC SME-200E (ULVAC SME-200E) 는 다양한 재료와 기판에 걸쳐 박막을 고성능 증착하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터 시스템은 동축 마그네트론 (magnetron) 과 목표 구성을 갖춘 이중 마그네트론 (magnetron) 을 사용하여 낮은 온도에서 높은 증착율, 균일 한 코팅 및 우수한 등각 범위를 제공합니다. 이 장치는 금속 화 프로세스, 반도체 장치 제작, 광전자 장치 등 다양한 응용 분야에 활용 될 수 있습니다. SME-200E에는 냉각 및 배기 머신이 내장되어 있으며, 3 축 모션 스프레이 건 (Spray-gun) 이 장착되어 기판 주변의 스프레이 건 (Spray-gun) 을 빠르게 이동하여 넓은 영역을 균일하게 코팅 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 이중 빔 조정 메커니즘 (dual-beam adjustment mechanism) 을 갖추고 있으므로 입사각을 쉽게 변경하여 원하는 배치 프로파일을 생성할 수 있습니다. 고유 한 회전 표적판 (rotating target plate) 은 다른 표적을 사용할 수있는 반면, 사용자는 필름 증착을 위해 가스 혼합물을 빠르게 선택할 수 있습니다. ULVAC SME-200E는 독점적 인 소스 접지 자산을 사용하여 증착 효율성 및 반복 가능성을 높입니다. 또한 실시간 플라즈마 강도 모니터 (Plasma Intensity Monitor) 및 프로세스 모니터 (Process Monitor) 를 사용하여 스퍼터링 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 이렇게 하면 모든 프로세스 변수에 대한 포괄적인 뷰 (view) 가 가능해지며, 더 나은 증착 결과를 위해 즉석에서 조정할 수 있습니다. SME-200E는 통합 컴퓨터 제어 시스템을 갖춘 완전 자동화 스퍼터링 장비입니다. 이 장치를 사용하면 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 빠르고 쉽게 설정할 수 있으며, 가장 복잡한 기판에서 무인 증착이 가능합니다. 즉, 모듈식 설계를 통해 유지 보수 및 업그레이드를 손쉽게 수행할 수 있으므로 스퍼터링 (sputtering) 시스템을 최신 기술로 최신 상태로 유지할 수 있습니다. ULVAC SME-200E는 고급 증착 및 스퍼터 코팅 응용 프로그램을 위해 제작 된 강력한 스퍼터링 머신입니다. 이 스퍼터링 에셋은 고급 기능과 직관적인 제어 도구 (Sputtering Control Tool) 를 통해 일관성 있고, 안정적이며, 고정밀 코팅을 만들려는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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