판매용 중고 ULVAC SME-200E #9204276
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ID: 9204276
웨이퍼 크기: 8"
Sputtering system, 8"
Included:
(2) Chambers
6" Tray & jig
High temperature deposition: Maximum 700° C
(2) Targets.
ULVAC SME-200E는 박막 층의 재료를 기판에 배치하는 데 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템은 3 개의 마그네트론 (magnetron) 디자인을 사용하여 증착 속도 정확도를 높이고 두께가 균일 한 박막 증착을 허용합니다. 전력 수준 (power level) 을 정확하게 조정할 수 있고, 스퍼터 (sputter) 프로세스의 효과를 확인할 수 있는 독립적인 모니터 장치가 있습니다. 컨트롤러는 단순하고 직관적인 디자인을 가지고 있으며, 다양한 스퍼터 증착 모드 (sputter deposition mode) 를 위해 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 스퍼터링 머신은 독특한 압력 감소 제어 도구 (pressure reduce control tool) 를 특징으로하며, 이를 통해 플라즈마 생성을 위해 균일 한 압력과 우수한 조건이 가능합니다. 압력 감소 제어 자산 (pressure reduce control asset) 은 또한 스퍼터 프로세스의 균일성을 보장하여 스퍼터 프로세스 변화를 줄이고 필름 균일성을 향상시킵니다. SME-200E 를 사용하면 단일 (single) 또는 다중 (multiple) 요소를 포함하여 다양한 조합으로 필름을 증착할 수 있으므로 매우 복잡한 박막 구조를 얻을 수 있습니다. ULVAC SME-200E에는 오염을 최소화하고 깨끗한 생산 환경을 제공하도록 설계된 진공실이 있습니다. 이 스퍼터링 모델 (sputtering model) 은 넓은 증착 영역을 가지고 있으며, 넓은 지역에 걸쳐 재료를 균일 하게 증착 할 수 있으며, 이는 넓은 면적의 박막을 증착시키는 데 이상적입니다. 스퍼터 챔버 (sputter chamber) 와 펌프 챔버 (pump chamber) 사이에 게이트 밸브가있는 단일 챔버 디자인을 사용합니다. 이것 은 오염 을 감소 시킬 뿐 아니라, 지속적 인 "스퍼터 '압력 과 깨끗 한 생산 환경 을 보장 해 준다. SME-200E는 터치 패널 기능을 통해 사용자 친화적으로 작동합니다. 또한 증착 프로세스 (deposition process) 를 실시간으로 모니터링, 분석하여 프로세스 관리 및 제어를 향상시킵니다. 이전 스퍼터 (sputter) 공정을 재개하는 데 단 2 분의 빠른 복구 시간이 소요되며, 진공 펌프 (vacuum pump) 장비는 안정적이고 효율적인 작동을 위해 설계되었습니다. 전반적으로, ULVAC SME-200E는 인상적인 균일성을 가진 고품질의 박막을 배치하기위한 안정적이고 효율적인 스퍼터링 시스템입니다. 사용자 친화적 인 운영 장치 (Operating Unit) 와 다양한 스퍼터 기능 (Sputter Feature) 이 있어 다양한 응용 프로그램에서 정밀 박막 증착에 이상적인 선택입니다. 신뢰할 수 있는 설계, 편리한 운영, 다양한 기능을 갖춘 SME-200E 는 박막 레이어를 다양한 기판에 스퍼터링할 수 있는 탁월한 선택입니다.
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