판매용 중고 ULVAC SME-200 #9306112

ULVAC SME-200
ID: 9306112
빈티지: 2004
Sputtering system 2004 vintage.
ULVAC SME-200은 다양한 과학 및 산업 응용 분야를 위해 금속, 합금, 산화물, 화합물을 다양한 기질로 증착 시키도록 설계된 다양하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 최대 800 와트의 DC 전력을 공급할 수 있는 솔리드 스테이트 (solid-state) 전원 공급 장치를 갖추고 있어 가장 까다로운 재료를 증착할 수 있습니다. ULVAC SME 200은 평면 (planar) 또는 회전 (rotary) 모드에서 작동 할 수 있으며, 광범위한 기판으로 스퍼터링 실험을 수행 할 수 있습니다. 평면 모드에서, 이 장치는 분할 된 자기 방패를 사용하여 넓은 영역에 균일 한 스퍼터링을 촉진합니다. 회전 모드에서는 가변 속도 회전 및 조정 가능한 각도 기능을 가진 회전 스퍼터링 챔버 (rotary sputtering chamber) 가 고정밀 스퍼터링 프로세스에 사용됩니다. 고품질 결과를 보장하기 위해, SME-200은 일정하고 조절 가능한 대기 능력을 갖춘 독특한 가변 압력 음극 챔버를 특징으로합니다. 이를 통해 사용자는 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 최대한 제어하여 안정된 환경을 만들 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 기계 에는 진공 "펌프 ', 과압 조절 장치 및 능동적 인 누출" 가아드' 가 장착 되어 있으며, 오염 의 위험성 을 최소화 하는 더욱 안전 한 과정 이 있다. 이 기계는 또한 정교한 프로그래밍 가능한 제어 도구 (Control Tool) 를 갖추고 있으며, 정확한 타이밍과 정확한 제어로 재료 증착을 가능하게합니다. 이 자산은 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 동안 챔버 환경을 모니터링 및 조정하기위한 센서 시스템 (sensor system) 을 포함하여 포괄적인 안전 기능을 사용합니다. 또한, 내장 석영 결정 모니터링 모델로 모든 퇴적 된 재료를 모니터링 할 수 있습니다. SME 200 은 고급, 다용도, 강력한 스퍼터링 (sputtering) 장비로, 광범위한 연구 및 산업 분야에 적합합니다. 혁신적인 기능, 정교한 제어 시스템, 신뢰할 수있는 챔버 (chamber) 환경의 조합은 사용자에게 독보적인 스퍼터링 경험을 제공합니다.
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