판매용 중고 ULVAC SME-200 #9293517

ULVAC SME-200 스퍼터링 (sputtering) 장비는 업계 최고의 낮은 소유 비용으로 고성능 박막 증착 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 뛰어난 균일성, 반복성 및 제어성을 갖춘 낮은 진공, 빠른 스퍼터링 프로세스를 제공합니다. ULVAC SME 200에는 2 개의 개별 목표 보유자가 장착되어 있으며, 그 중 하나는 PBN (Pyrolytic Boron Nitride) 유전체가있는 스퍼터링 대상입니다. 이를 통해 시스템은 금속 필름과 유전체 필름을 모두 배치 할 수 있습니다. 유전체 는 "스퍼터링 '수율 이 매우 낮아서" 스퍼터링' 입자 를 "박막 '의 이전 층 에 대한 위험 을 최소화 한다. 또한, 두 표적을 동시에 사용하여 단일 작업으로 금속과 유전체를 배치하거나, 증착 속도 (added deposition speed) 를 위해 교대로 증착 할 수 있습니다. SME-200은 또한 최대 4 개의 4 인치 웨이퍼 샘플을 수용 할 수있는 로드 락 챔버 및 가열 된 기판 홀더를 갖추고 있습니다. 이를 통해 진공 상태에서 빠른 샘플 로드 및 언로드가 가능합니다. 히터의 범위는 0 ° C ~ 400 ° C이며, 웨이퍼의 열 처리에 이상적입니다. 이 장치는 반복 가능한 레시피 기반 증착 프로세스 제어를 통해 증착률 기능이 높습니다. 또한 QMS-200 (Quality Monitoring Machine) 을 통해 타겟 조건을 자동으로 모니터링하고 데이터 로깅 및 품질 관리 기능을 제공합니다. SME 200 은 강력한 스퍼터링 툴로서, 보호 계층 (protective layer) 과 장벽 계층 (barrier layer) 에서 평면 배치 (planarization layer) 에 이르기까지 광범위한 애플리케이션을 처리할 수 있습니다. ULVAC는 또한 다양한 스퍼터링 요구 사항을 위해 SME 시리즈의 다른 여러 스퍼터 자산 모델을 제공합니다.