판매용 중고 ULVAC SME-200 #9156855

ULVAC SME-200은 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 특정 재료의 박막 (thin film) 을 표면에 배치하는 데 사용되는 고급 시스템입니다. 조정 가능한 매개변수 (parameter) 를 사용하여 다양한 증착 품질 (deposition quality) 과 필름 특성 (film properties) 을 가능하게하여 반복 가능한 박막 증착이 가능한 자동 단위입니다. ULVAC SME 200 기계는 낮은 진공 챔버, 2 개의 독립적 인 스퍼터링 소스, 전자 빔 소스, RF 코터 및 로터리 대상 소스로 구성됩니다. 적용 가능한 소스를 사용하여, 챔버의 기질은 스퍼터링 대상 (sputtering target), 전자 (electron) 또는 무선 주파수 (radio-frequency) 파의 이온화 된 가스 입자에 노출된다. 이들 원천의 이온, 전자 또는 무선 주파수 (radio-frequency wave) 는 표적으로부터 분자를 공격하고, 이어서 기질에 부착하여 원하는 필름을 형성한다. SME-200 도구는 크기가 다른 2 개의 기판을 처리 할 수 있으므로 더 효율적인 생산이 가능합니다. 두 스퍼터링 소스의 전력 예산은 2kW이며, 집중 마그네트론 (magnetron) 이 장착되어 스퍼터 깊이와 균일성의 더 높은 정확성과 반복 성을 달성합니다. 기판 홀더는 유리, 석영, 실리콘, 알루미늄 및 금속을 포함한 다양한 크기/유형의 기질로 단면 및 양면 웨이퍼를 지원할 수 있습니다. 약실 (chamber) 에는 가변 압력 자산, 터보 펌프 (turbo pump) 및 냉동 펌프 (cryopump) 가 있어 통제 대기 및 증착을위한 진공 수준을 허용하므로 증착 과정에 대한 보다 정밀한 제어가 가능합니다. SME 200 에는 수많은 모델 센서가 장착되어 있어, 모든 프로세스 매개변수 및 가스 흐름을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 장비의 소프트웨어를 사용하면 증착 (deposition) 동안 모든 매개변수를 원격으로 조작하고 증착 (deposition) 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 시스템의 고급 설계 (advanced design) 와 조절 가능한 매개변수 (adjustable parameters) 덕분에, 이 장치는 다양한 재료와 속성의 다양한 필름을 배치하는 데 사용될 수 있으며, 다양한 응용 프로그램에 적합한 매우 다양한 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 입니다.