판매용 중고 ULVAC SME-200 #293758509

ULVAC SME-200
ID: 293758509
웨이퍼 크기: 8"
Sputtering system, 8".
ULVAC SME-200은 균일성, 결함이 낮은 샘플, 저비용 재료를 갖춘 박막 코팅 (Thin Film Coating) 을 생산하는 데 적합한 다재다능하고 컴팩트 한 스퍼터링 장비입니다. 균일 한 스퍼터링 속도와 최대화 된 수확량을 위해 설계된 정밀 설계 챔버 (chamber) 를 사용하여이 시스템은 고품질의 멀티 레이어 박막 코팅을 생산할 수 있습니다. ULVAC SME 200 스퍼터링 장치는 사전 진공 챔버, 고 진공 챔버, 스퍼터링 챔버 및 기판 홀더의 4 가지 구획으로 구성됩니다. 진공 전 챔버 (pre-vacuum chamber) 는 증착 과정이 시작되기 전에 기계를 빠르게 대피하도록 설계되었습니다. 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 는 기질 물질을 스퍼터링 챔버로 통과시키고 거의 완벽한 진공을 생성합니다. 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 는 저강도 플라즈마를 생성하고 고진공 이온을 기판에 지시하는 높은 신뢰성 AC 및 DC 편향 자석으로 구성됩니다. 기판 홀더는 기판 재료의 정확한 위치 및 방향을 정밀하게 제어합니다. SME-200에는 대상 원자 분수, 압력 및 프로세스 시간을 정확하게 제어하기 위해 MFC (dual digital mass flow controller) 가 장착되어 있습니다. 이 스퍼터링 도구는 금속, 금속 화합물, 절연체 및 세라믹 재료를 포함한 다양한 코팅 옵션을 제공합니다. 모든 산업 분야에 빠르게 통합 될 수있는 컴팩트 한 디자인의 SME 200 (SME 200) 은 다양한 필름 두께 (0.1nm 감소) 와 창 크기 (12in) 로 조정 할 수있는 균일 한 코팅을 제공합니다. 또한, 복원 가능한 컨트롤러 메모리 (restorable controller memory) 및 임베디드 프로세스 모니터링 (embedded process monitoring) 기능을 통해 운영자는 자산 프로세스를 신속하게 재설정하고 모니터링할 수 있습니다. ULVAC SME-200 (UPS SME-200) 은 높은 신뢰성과 다양한 프로세스 제어 옵션으로 탁월한 균일성과 초슬림 코팅을 제공하는 저비용 스퍼터링 모델로, 다양한 산업 스퍼터링 어플리케이션에 적합합니다. 이 스퍼터링 장비는 또한 24/7 온라인 기술 지원 및 ULVAC 인증 설치/유지 보수 엔지니어에 대한 액세스를 통해 ULVAC 신뢰성 있는 서비스를 통해 지원됩니다. ULVAC SME 200 스퍼터링 시스템은 올인원 (All-in-One) 설계 및 맞춤형 엔지니어링을 통해 최고 수준의 박막 생산을 위한 강력하고 경제적인 프로세스를 제공합니다.
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