판매용 중고 ULVAC SME-200 #293637655

ULVAC SME-200 스퍼터링 장비 (sputtering equips) 는 얇은 금속 또는 기타 재료를 기판에 침전하도록 설계되었습니다. 이 스퍼터링 시스템은 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 기술을 사용하는데, 이 기술은 불균형 전압을 사용하여 대상 물질의 하전 입자가 고속으로 기판을 폭격하도록 유발합니다. 이러 한 폭격 은 물질 을 증발 시키며, 그 재료 는 얇은 "필름 '의 형태 로 기판 에 증착 시킨다. ULVAC SME 200 스퍼터링 장치는 높은 증착율, 우수한 균일성 및 뛰어난 스텝 커버리지를 제공합니다. 2, "3" 또는 4 "웨이퍼와 다른 크기, 모양 및 온도의 다른 기질을 처리 할 수 있습니다. 이 "머신 '은 또한 여러 가지 표적 재료 를 지원 하여, 여러 가지 재료 로 만든 여러 가지 박막 을 배치 할 수 있게 해 준다. 또한, 선택 가능한 두께 및 영역으로 코팅을 입금하여 높은 수준의 균일성을 달성 할 수 있도록 프로그래밍 할 수 있습니다. SME-200 (SME-200) 은 단일 로드 잠금 챔버 (single load lock chamber) 와 별도의 펌핑 도구 (pumping tool) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 자산을 최소한의 교차 오염으로 다양한 기판에 레이어를 쉽게 배치 할 수 있습니다. 또한, 내장 가스 공급 챔버를 사용하면 다양한 가스 구성을 최적의 필름 증착에 활용할 수 있습니다. 또한, 2 개의 외부 6 인치 고 펌프 AC 구동 마그네트론이이 모델을 통해 다층 박막 (예: 장벽 층 및 특수 특성 및 특성이 필요한 다른 층) 을 배치 할 수 있습니다. 이 장비는 표면 코팅 (surface coating) 및 고급 박막 개발 (thin film development) 을 포함한 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 높은 전력, 고급 제어 및 모니터링 시스템, 정확한 증착 기능으로 인해 SME 200은 산업, 연구, 개발 환경에 적합한 옵션입니다. 또한 ULVAC 품질 지원 (Quality Support) 및 전문 지식이 지원되므로, 높이와 균일성이 정밀한 얇은 필름을 입금하려는 사람들에게 탁월한 선택입니다.