판매용 중고 ULVAC SME-200 #293633947
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ULVAC SME-200은 박막 증착 및 코팅을위한 고품질 스퍼터링 장비입니다. 고품질· 균일성 구성요소를 생산할 수 있는 다음극, 고진공 시스템이다. ULVAC SME 200은 진공실을 사용하여 기판에서 오염 및 기타 입자를 펌핑 할 수 있습니다. 이 장치에는 8 개의 독립적 인 마그네트론 스퍼터링 음극 (magnetron sputtering cathode) 이 내장되어 있으며, 사용자가 다른 지역에서 다른 재료를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 사용자가 지정한 패턴을 기반으로 다중 레이어 코팅 (multi-layer coating) 을 생성할 수도 있으며, 대상 영역은 20 nm (small) 까지 될 수 있습니다. 이 기계는 또한 비스듬한 각도 목표물 (oblique angle target) 과 산란 각도 스퍼터링 (sputtering angle sputtering) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 복잡한 디자인을 만들 수 있습니다. SME-200 은 고급 제어 전자 제품 (Advanced Control Electronics) 에 의해 구동되며, 이를 통해 사용자는 전체 도구를 제어할 수 있습니다. 반도체 온도 컨트롤러 (semi-conductor temperature controller) 를 사용하여, 자산은 고정밀 기판의 안정적인 온도를 유지할 수 있으며, 증착의 균일 한 환경을 유지할 수 있습니다. 가스 흐름, 압력, 온도, 스퍼터링 프로세스 시간 (sputtering process time) 과 같은 여러 프로그래밍 가능 매개변수는 단일 위치에서 제어하거나 모니터링 할 수 있습니다. SME 200 은 신뢰할 수 있는 모델로서 다양한 애플리케이션 가능성을 제공합니다. 유연성이 뛰어난 장비로, 사용자는 시간과 노력을 최소화하면서 고품질 (High-Quality) 구성요소를 생산할 수 있습니다. 이 시스템은 높은 정확성과 반복성을 측정하는 금속 (metallic) 및 비금속 (non-metallic) 박막 (thin film) 의 증착에 도움이됩니다. 나노 미터 박막 층을 배치 할 수 있으며 200nm/min의 놀라운 증착률을 갖습니다. "스퍼터링 '장치 는 빠르고 쉬운 청소 과정 을 통해 유지 하기 쉽다. 이 기계는 또한 실시간 작동이 가능한 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 가있는 시각적 하위 시스템을 갖추고 있습니다. 여러 가지 레시피를 저장할 수 있으므로, 사용자는 증착 과정의 효율성을 높일 수 있습니다. 이 도구에는 또한 PLC (programmable logic controller) 자산이 있으며, 이는 증착 과정의 정확성을 향상시킵니다. ULVAC SME-200 스퍼터링 모델은 산업 및 소비자 애플리케이션을위한 박막 증착에 적합한 탁월한 선택입니다. 신뢰할 수 있지만 유연한 설계를 갖추고 있으며 사용하기 쉽습니다. 높은 품질의 균일 한 레이어 (layer) 를 정밀 반복 가능으로 생산할 수 있으므로, 사용자는 대부분의 처리 요구에 도움이 될 수 있습니다.
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