판매용 중고 ULVAC SMD-850BX3 #9285784

ULVAC SMD-850BX3 스퍼터링 장비는 금속, 도자기, 반도체, 유전체 등 다양한 재료로 기판을 코팅하여 박막 층을 만드는 고급 방법입니다. 고급 기능에는 초단파 펄스 DC (Direct Current) 마그네트론 스퍼터링 소스, 개방형 로드 차단 시스템 및 자동 레시피 모드 (옵션) 가 포함됩니다. 이 장치는 균일성 (unifority) 과 증착률이 높아 다양한 산업에서 사용되는 박막 (thin film) 층의 대량 생산에 적합합니다. SMD-850BX3의 부하 용량은 직경 최대 5 ", 두께 최대 5" 이며 진공 레벨 5x10-6Pa 및 최대 온도 150 ° C입니다. 이 기계는 2 개의 독립적 인 스퍼터링 소스를 사용하여 하나의 기판에 2 개의 다른 층의 박막 (thin film) 을 만들 수 있습니다. 다른 기능으로는 멀티 레이어 증착 (multi-layer deposition), 동시에 두 개의 다른 재료를 스퍼터팅 할 수있는 기능, 두께나 입자가 변하지 않는 균일 한 증착 된 필름 층이 있습니다. ULVAC SMD-850BX3 스퍼터링 툴에는 소형 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump) 가 장착되어 있어 빠른 대피 및 높은 가스 압축을 위해 고속 펌핑이 가능합니다. 또한 오픈 로드 차단 (open-load shut-off) 자산을 제공합니다. 이 자산은 챔버 압력이 너무 낮으면 모델을 자동으로 차단하여 불균형 압력으로 인한 손상을 방지합니다. 또한, 장비에는 선택적 자동 레시피 모드 (Automatic Recipe Mode) 가 있으며, 특정 증착 프로세스에 필요한 조건을 자동으로 설정하도록 프로그래밍할 수 있습니다. SMD-850BX3 는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 스퍼터링 시스템으로, 광범위한 어플리케이션에 탁월한 균일성 (unifority) 및 증착률을 제공합니다. 직관적 인 운영 단위는 사용하기 쉽고, 소규모 실험실과 산업 생산에 적합합니다. 또한, 고급 기능 과 기능 은 "기판 '이 적합 한 재료 로 일관성 있게 코팅 되어" 박막' 층 을 일관성 있게 제공 해 준다.