판매용 중고 ULVAC SMD-750 #9213455

ULVAC SMD-750 스퍼터링 (sputtering) 장비는 다양한 유형의 기판에 박막을 입금하는 데 사용되는 다용도, 사용자 친화적 스퍼터링 시스템입니다. 이 제품은 반도체 장치, 평면 패널 디스플레이 (flat panel display), 광전자 제품 (optoelectronics) 과 같은 다양한 어플리케이션을 위한 최고 품질의 박막 (thin film) 을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 진공 챔버, 공정 챔버 및 제어 머신으로 구성됩니다. 진공실에는 자동 황삭 및 미세 튜닝 진공 공정이 장착되어 있습니다. 이것은 5 x 10-8 Pa (최적 필름 증착에 필요한 5 x 10-8 Pa) 의 미리 결정된베이스 압력을 달성하기 위해 사용됩니다. 제어 도구 (Control Tool) 는 작업 챔버 내의 압력을 모니터링하고 조정하여 최적의 필름 증착을 달성하도록 프로그래밍됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 스테인리스 스틸 코팅 (stainless steel coated) 표면을 사용하여 최적의 재료 스퍼터링을위한 깨끗한 환경을 보장합니다. 방에는 최대 8 개의 독립적 인 스퍼터 소스 (sputter source) 가 장착되어 있으며, 여러 표적과 재료를 동시에 증착 할 수 있습니다. ULVAC SMD 750은 금속, 유전체, 세라믹, 반도체, 재료 조합과 같은 광범위한 목표 물질을 처리 할 수 있습니다. SMD-750 은 클로즈드 루프 (closed-loop) 프로세스 제어 자산을 제공하여 기판 위치, 가스 흐름 및 온도를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 필름의 두께와 구성이 균일합니다. 이 모델은 또한 장기 생산을위한 최적의 프로세스 매개 변수를 유지하는 자동 부식 보호 장비 (Automatic Corrosion Protection Equipment) 를 갖추고 있습니다. SMD 750 은 금속, 유전체, 세라믹, 반도체 재료 의 박막 을 균일 한 두께 와 조성물 로 퇴적 시키는 데 사용 할 수 있는, 믿을 만하고 다목적 인 "스퍼터링 시스템 '이다. 이 장치에는 자동 황삭 및 미세 튜닝 진공 프로세스 (automated roughing and fine-tuning vacuum process) 와 기판 위치, 가스 흐름 및 온도의 정확한 제어를 위해 폐쇄 루프 프로세스 제어 머신이 장착되어 있습니다. 이 도구의 부식 보호 자산 (부식 보호 자산) 은 장기적인 운영을 보장하며, 광범위한 박막 증착 응용에 이상적인 선택입니다.