판매용 중고 ULVAC SMD-750 #293661856
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ULVAC SMD-750은 일본 박막 증착 시스템 제조업체 인 ULVAC, Inc.에서 제조 한 최고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 고정밀 회전 가능한 터렛 (turret) 이 장착되어 있어 스퍼터링 (sputtering) 대상을 정확하게 배치하고 타겟팅하여 원하는 필름 두께와 지형을 만들 수 있습니다. ULVAC SMD 750은 중간 크기의 스퍼터링 유닛으로 MEMS, 반도체, 광학 부품 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. SMD-750 기계에는 2 개의 독립적 인 이온 소스가 장착되어 있으며, 이를 통해 스퍼터링 및 이온 이식 응용 프로그램이 혼합되어 있습니다. 7kVA 전원 공급 장치를 사용하는 SMD 750 은 고성능 스퍼터링 (Sputtering) 과 이온 (Ion) 임플란테이션을 제공하며, 다양한 재료를 다양한 기판에 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한, ULVAC SMD-750은 고정밀 자동 암 포지셔너를 사용하여 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 에 샘플과 대상을 쉽고 안정적으로 배치 할 수 있습니다. ULVAC SMD 750은 조절 가능한 주파수 전원 공급 장치, 독립 가스 흐름 제어, 영화 성장의 현장 모니터링을위한 고정밀 센서, 정확하고 재생성 가능한 스퍼터링 및 이온 임플랜테이션 프로세스를 보장하는 종합적인 폐쇄 루프 (closed-loop) 제어 도구 등 다양한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 또한, 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 내의 온도는 센서에 의해 신중하게 모니터링되므로 스퍼터링 작업 중 정확한 온도 조절이 가능합니다. SMD-750 자산은 반도체 (반도체) 산업 및 기타 관련 산업의 엄격한 안전 및 환경 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 환경 안전을 보장하기 위해 모델은 NFPA 70E 안전 표준 (Safety Standard) 이 정한 엄격한 표준을 충족합니다. 이 장비에는 안전한 운영 환경을 보장하기 위해 배기 여과 (exhaust filtration) 및 배기 가스 모니터링 시스템 (exhaust gas monitoring system) 과 같은 고급 안전 장치가 장착되어 있습니다. SMD 750 은 씬 필름 기반 구성 요소의 안정적인 생산을 위해 설계된 혁신적인 스퍼터링 시스템입니다. 광범위한 최첨단 제어 기능을 갖춘 ULVAC SMD-750 은 최고 수준의 반복 가능하고 재현 가능한 스퍼터링 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 프로세스 컨트롤과 결합된 ULVAC SMD 750 (Power of ULVAC SMD 750) 은 메모리, 자동차 또는 기타 업계에서 모든 유형의 스퍼터링 관련 애플리케이션에 대해 완벽한 선택입니다.
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