판매용 중고 ULVAC SMD-450SP #9301075

ULVAC SMD-450SP
ID: 9301075
빈티지: 2005
Sputtering system 2005 vintage.
ULVAC SMD-450SP는 고정밀 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 (Sputtering) 은 물리적 힘을 사용하여 대상 물질에서 원자를 배출하여 기판에 증착시키는 물리적 증기 증착 (PVD) 프로세스입니다. SMD-450SP는 3 개의 스퍼터링 소스 (2 개의 마그네트론과 1 개의 음극) 를 지원하는 컴팩트하고 작동하기 쉬운 사용자 친화적 인 시스템입니다. 이 제품은 원격 관리, 측정 기능 등 신뢰성이 높은 프로세스 관리 및 모니터링 기능을 제공합니다. ULVAC SMD-450SP는 최대 3,000 W의 DC 또는 펄스 DC 전원을 사용하는 마그네트론 스퍼터링 소스로 설계되어 금속, 산화물 및 질화물 필름을위한 많은 대상 재료를 선택할 수 있습니다. 이 장치에는 독립 음극 스퍼터링 소스 (sputtering source) 가 장착되어 있으며, 반응성 스퍼터링 프로세스와 저온 기판이 필요한 프로세스를 지원합니다. 이 시스템의 다른 기능으로는 높은 수준의 안전, 향상된 처리량, 멀티 소스 병렬 프로세스 기능 등이 있습니다. SMD-450SP 스퍼터링 툴에는 정확하고 반복 가능한 프로세스 시퀀스 생성, 스퍼터링 조건 모니터링 기능, 프로세스 상태 (process status) 및 경보 알림 등 탁월한 프로세스 제어 옵션이 있습니다. 이 프로세스는 배치 당 전력 및 시간 소모를 최소화해 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 운영 환경에 이상적입니다. 그 모범적인 프로세스 반복성과 제어성은 일관성 있고 고품질의 제품을 보장합니다. ULVAC SMD-450SP는 또한 뛰어난 안전 기능을 제공합니다. 공기 절연 인클로저로 설계되었으며, 높은 수준의 EMI 면역과 먼지와 연기로 인한 차폐를 제공합니다. 또한 최신 안전 및 규정 준수 표준을 준수하기 위해 국제 전기 기술위원회 (International Electrotechnical Commission) 요구 사항 및 인증을 준수합니다. SMD-450SP 스퍼터링 자산은 직관적이고 사용자 친화적이며, 쉽게 설치, 운영 및 유지 관리할 수 있습니다. 이 모델에는 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 직관적인 프로세스 모니터 (Process Monitor) 가 장착되어 있어 사용자가 쉽게 프로세스를 모니터링하고, 매개변수를 조정하고, 작업을 원활하게 실행할 수 있습니다. ULVAC SMD-450SP 스퍼터링 (sputtering) 장비는 매우 정밀한 박막 예금과 탁월한 프로세스 제어를 제공하도록 설계된 뛰어난 스퍼터링 시스템입니다. 직관적 인 설계, 신뢰성, 안전성, 프로세스 반복성을 통해 박막 증착 (Thin Film Deposition) 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.
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