판매용 중고 ULVAC SMD-450BS #293684875

ID: 293684875
빈티지: 2010
Sputtering system 2010 vintage.
ULVAC SMD-450BS는 반도체 제조에서 광학 코팅 (optical coating) 및 재료 연구에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 박막 증착을 위해 설계된 정교한 스퍼터링 장비입니다. 세계 최고의 진공 기술 솔루션 공급업체인 ULVAC 가 개발한 SMD-450BS 는 최첨단 기능과 고급 기능을 통합하여 최신 박막 증착 프로세스의 까다로운 요구 사항을 충족합니다 (영문). ULVAC SMD-450BS는 고성능 마그네트론 스퍼터링 (Magnetron Sputtering) 기술을 통해 증착 과정을 정확하게 제어하여 균일성, 밀도 및 접착력이 뛰어난 필름을 제공합니다. 이 시스템에는 고유한 RF 전원 공급 장치 (RF Power Supply) 와 고급 플라즈마 제어 (Plasma Control) 기능이 장착되어 있어 안정적인 작동과 반복성이 보장되며, 특성이 균일한 고품질 박막 제작에 필수적입니다. SMD-450BS의 주요 주요 특징 중 하나는 다재다능한 설계로, 금속, 합금, 산화물, 질화물 등 다양한 재료를 증착 할 수 있습니다. 이러한 유연성은 기존 반도체 제작에서 새로운 기술 (예: 박막 태양 전지, 유연한 전자 제품) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 이상적입니다. ULVAC SMD-450BS에는 증착 과정을 간소화하고 운영자의 개입을 최소화하는 정교한 자동화 머신 (automation machine) 이 장착되어 있습니다. 이 도구에는 배치 레시피 (deposition recipe), 매개변수 최적화 (parameter optimization) 및 주요 프로세스 매개변수의 실시간 모니터링을 쉽게 프로그래밍할 수 있는 사용자 친화적 인 인터페이스가 있습니다. 이 자동화 수준은 생산성을 높일 뿐만 아니라, 프로덕션 배치 전반에 걸쳐 일관된 필름 품질을 보장합니다. 자산 구성 측면에서, SMD-450BS 는 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 다양한 맞춤형 구성 옵션을 제공합니다. 이 모델에는 여러 개의 증착원 (deposition source), 기판 난방 기능, 내부 모니터링 도구 (in-situ monitoring tools) 및 고급 프로세스 제어 기능이 장착되어 있어 각 사용자의 고유한 요구에 맞게 장비를 조정할 수 있습니다. 이러한 유연성은 ULVAC SMD-450BS를 연구 개발 및 대용량 생산에 이상적인 플랫폼으로 만듭니다. SMD-450BS (Vacuum Chamber of SMD-450BS) 는 성능 및 처리량을 최적화하도록 설계되었으며, 빠른 펌프 다운 (Rapid Pump Down) 및 뛰어난 기본 압력 수준 (Base Pressure Level) 등의 기능을 통해 깨끗하고 안정적인 처리 환경을 구축할 수 있습니다. 이 시스템은 운영자를 보호하고 운영 중 진공 장치 (vacuum unit) 의 무결성을 보장하기 위해 고급 안전 (safety) 기능을 통합했습니다. 전반적으로 ULVAC SMD-450BS는 정밀도, 다양성, 자동화를 결합한 최첨단 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 으로 다양한 어플리케이션을 위한 고품질 박막 (Thin Film) 의 증착을 가능하게 합니다. 고급 기능과 사용자 친화적 인 설계를 갖춘 SMD-450BS는 박막 (Thin Film) 기술의 경계를 넓히려는 연구원, 엔지니어, 제조업체에 적합한 툴입니다.
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