판매용 중고 ULVAC SMD-450B #9212812

울박 (ULVAC) SMD-450B는 반도체· 전자산업에서 박막 증착을 위한 첨단 스퍼터링 장비다. 이 시스템은 세라믹 (ceramic) 에서 금속 (metal) 및 유리 (glass) 기판에 이르기까지 다양한 기판 재료에 박막 증착을 위해 설계된 다중 증착/처리 챔버를 사용합니다. SMD-450B는 최대 8 개의 마그네트론 스퍼터링 소스를 사용하는 통합 멀티 튜브 마그네트론 스퍼터링 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계를 통해 기판에 원소 순수 스퍼터링 재료를 적용 할 수 있으므로 정확하고 효율적인 필름 코팅 (film coating) 을 가능하게합니다. 스퍼터링 소스는 희토류 원소, 고귀한 금속, 화합물 금속 등 가장 다양한 물질을 처리 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 증착실에 반응성 가스를 전달하기위한 가스 배달 에셋 (gas delivery asset) 을 특징으로합니다. 이것은 산화물, 질화물 및 기타 그러한 필름의 성장을 가능하게한다. ULVAC SMD-450B는 3x10-3 Pa 정도의 압력을 달성 할 수있는 진공 챔버를 사용하여 균일하고 부드러운 코팅 프로세스를 보장합니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 컨트롤러를 통해 프로세스 매개변수 추적 (process parameter tracking) 및 자동 레시피 제어 (automated recipe control) 기능을 제공합니다. 이 모델에는 로드/언로드 스테이션 (load/unload station) 이 장착되어 있어, 진공을 끊을 필요없이 기판의 설치, 서비스 및 유지 보수가 가능합니다. 또한 ULVAC Smart Factory Suite와의 호환성을 갖춘 Automation Ready 옵션도 포함되어 있어 대량 생산이 가능합니다. 이를 통해 유닛은 다른 구성 요소와 데이터를 공유하고 단일 인터페이스로 관리하므로 여러 ULVAC 장비를 단일 워크플로우 (workflow) 에 쉽게 통합할 수 있습니다. 전반적으로 SMD-450B 스퍼터링 장비는 다층 박막 증착을위한 강력한 도구입니다. 정확한 스퍼터링 소스, 정교한 가스 전달 시스템, 저압 진공 챔버, 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 의 조합으로 정확하고 효율적인 필름 코팅에 적합합니다.