판매용 중고 ULVAC SMD-450 #9411767
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ULVAC SMD-450은 박막을 다양한 기판에 입금하는 데 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터 소스 (sputter source) 와 재료 (material) 가 여러 개인 고급 시스템으로, 광학 또는 전기 구조 및 장치 제조와 같은 응용 분야에 적합합니다. SMD-450은 작은 크기의 사양을 위해 제작 된 단일 챔버, 이중 마그네트론 스퍼터링 유닛 (sputtering unit) 이지만 효율적이고 효과적인 스퍼터링을 위해 필요한 모든 구성 요소를 포함합니다. 이 기계 는 커다란 "마그네트론 코일 '을 사용 하여" 아르곤' "이온 '의 강력 한" 플럭스' 와 표적 물질 의 넓은 "스펙트럼 '을 생산 하여, 뛰어난 접착력 을 가진 고순도" 필름' 을 생산 할 수 있게 한다. ULVAC SMD-450은 최대 200mm 직경의 기판 크기와 플라스틱, 세라믹, 유리, 금속 호일을 포함한 모든 두께 및 재료의 기판을 수용 할 수 있습니다. 최대 작동 압력 7.5x 10-5 Torr에서 작동하며 기판 온도 (최대 1000 ') 에 도달 할 수 있습니다. 스퍼터링 소스는 각각 자체 마그네트론 코일을 가진 2 개의 독립적으로 밀봉 된 음극을 포함합니다. 첫 번째 소스는 투명 전도 산화물 (TCO) 및 기타 스퍼터링 된 재료에 사용되며, 두 번째 소스는 스테인리스 스틸, 알루미늄, 코발트 및 기타 금속과 같은 금속 층에 사용됩니다. 총 출력 전력은 최대 2.5 kW에 도달하여 빠르고 효율적인 증착이 가능합니다. 또한, SMD-450의 챔버 환경은 현장 대기 테스터로 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 공구는 저온 증발 (low-temporation) 및 산화 조건 (oxidation condition) 을 가진 다양한 층의 재료를 증착시키는 데 적합하므로 필름 품질을 더 잘 제어할 수 있습니다. 자산은 또한 다양한 프로세스 기능을 제공하여 증착 프로세스를 개선합니다. 이러한 기능에는 조절 가능한 도핑, 방향 펄스 증착 및 다단계 증착이 포함됩니다. 또한, 자동화된 프로세스 제어는 쉽고 정확한 증착을 가능하게하며, 높은 반복성과 일관된 필름 증착을 제공합니다. 결론적으로, ULVAC SMD-450 스퍼터링 모델 (sputtering model) 은 다양한 기판에 있는 얇은 필름의 깨끗하고 균일 한 증착을위한 완벽한 솔루션으로, 빠른 속도로. 이 장비 는 "필름 '의" 파라미터' 를 정확 하고 정확 하게 제어 하고, 또한 다양 한 여러 가지 재료 들 을 "스퍼터 '할 수 있게 해 준다. 이 시스템은 광학, 전자 제품, 자동화 분야의 다양한 응용프로그램에 유용한 도구입니다.
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