판매용 중고 ULVAC SMD-450 #9269740
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ULVAC SMD-450은 다양한 표면에서 고품질 코팅을 제공하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. SMD-450 은 자기적으로 향상된 직류 (direct-current) 원격 플라즈마 소스를 사용하여 프로세스 반복성을 향상시키고 증착률을 최적화합니다. 이 시스템에는 또한 높은 진공 챔버 (vacuum chamber) 및 처리 모듈이 있으며, 다양한 처리 주기를 제공합니다. ULVAC SMD-450은 하나의 재료 계층 (layer of material) 또는 여러 계층의 다른 재료를 방출할 수 있습니다. 이 장치에는 대상 재료 공급 기계 (Target Material Feeding Machine) 가 포함되어 있어 물질의 지속적인 증착과 다양한 대상 재료와의 호환성을 보장합니다. 또한 SMD-450에는 고정밀 기울기 및 회전 단계 (turn stage) 가 있어 균일 한 코팅 및 에지-투-센터 전환에 대한 정확한 기판 위치가 가능합니다. ULVAC SMD-450에는 초당 150 포인트 이상을 감지하고 기판의 필름 두께와 공간 균일성 (spatial unifority) 을 측정 할 수있는 멀티 포인트 쿼츠 모니터도 있습니다. 이를 통해 빠르고 정확하게 제어 된 증착이 가능합니다. 이 도구의 아키텍처는 또한 여러 개의 스퍼터링 건 (sputtering gun) 과 증착률, 챔버 압력, 소스 파워 등 다양한 조정 가능한 스퍼터링 매개변수를 허용합니다. SMD-450 은 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics), 광학 구성 요소, 기타 까다로운 구성 요소 등 다양한 애플리케이션에 적합한 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 이 "에너지 '는 매우 다양 한 재료 와 호환 이 가능하도록 설계 되어 있어서 여러 산업 과" 응용프로그램' 에서 사용 하기 에 적합 하다. 또한, ULVAC SMD-450은 효율적이며, 증착에 매우 낮은 온도가 필요하며, 뛰어난 표면 형태를 제공합니다. SMD-450은 설치와 유지 관리가 간편합니다. 사용자 친화적인 인터페이스, 종합적인 그래픽 디스플레이, 다양한 온라인 지원 옵션 (예: 문제 해결 가이드, 자습서) 을 제공합니다. 이는 자산이 다양한 환경에서, 심지어 경험이 부족한 직원에게도 이상적입니다. 전반적으로 ULVAC SMD-450 모델은 다양한 코팅 요구 사항에 이상적인 스퍼터링 장비입니다. 고정밀 기울기, 회전 단계, 고급 모니터링 시스템은 안정적이고 반복 가능한 처리, 균일 한 코팅 (coating) 및 전폭 (edge-to-center) 전환을 가능하게 합니다. 또한, 시스템 요구사항이 최소화되어, 광범위한 애플리케이션/업계에 이상적인 선택이 됩니다.
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