판매용 중고 ULVAC SMD-450 #9269738
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ULVAC SMD-450은 산업 환경에서 사용하도록 설계된 고품질 스퍼터링 장비입니다. SMD-450은 DC-magnetron, RF-magnetron, DC-diode 등 다양한 전력을 사용하여 박막 층의 재료를 기판에 배치하는 효율적이고 효과적인 방법을 제공합니다. 이 시스템은 금속, 산화물, 질화물, 다층 합금 (multi-layer alloys) 과 같은 다양한 대상 물질을 지원할 수 있으며, 기판에 복잡한 박막 패턴을 만드는 데 사용될 수 있습니다. ULVAC SMD-450은 강력한 선형 모터 (linear motor) 와 포지셔닝 장치 (positioning unit) 로 설계되어 박막 레이어를 적용할 때 최고 속도와 정밀도를 제공합니다. 이 머신에는 원격 제어 도구 (Remote Control Tool) 도 포함되어 있으므로 배치 시간, 전력, 압력, 온도 등의 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 작업 표면에서 증착 부산물을 제거하는 자동 플라즈마 클리닝 (plasma-cleaning) 기능이 장착되어 있습니다. SMD-450 챔버 (Chamber of SMD-450) 는 증착 과정의 효율성과 반복성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 사용이 간편한 제어 모델을 통해 온도, 압력, 가스 (gas) 와 같은 매개변수 (parameters) 를 자동으로 조정하여 적용할 수 있는 디지털 박막 레이어 (Thin-film Layer) 유형의 다용성을 높일 수 있습니다. 또한 챔버에는 쿼츠 창 (quartz window) 이 있어 사용자가 증착 과정을 관찰 할 수 있으며, 예금에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. ULVAC SMD-450은 다양한 기판 크기, 두께, 모양을 다룰 수 있으며, 전류, 최첨단 반도체를 생산하는 데 이상적인 스퍼터링 장비입니다. 시스템은 최대 4.5 "크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한, SMD-450은 유지 관리가 매우 쉽고 사용 기간 동안 최소한의 개입이 필요합니다. 이 장치를 사용하면 고품질의 박막 레이어를 안정적이고, 반복적이며, 비용 효율적인 증착이 가능하므로 산업 생산에 완벽한 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 이 됩니다.
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