판매용 중고 ULVAC SMD-450 #9269735

ULVAC SMD-450은 ULVAC에서 제조 한 고성능 스퍼터링 장비입니다. 고급, 완전 자동 증착 (fully automated deposition) 프로세스를 통해 다양한 재료의 고품질, 반복 가능한 박막 증착이 가능합니다. 이 시스템은 다양한 진공실 (vacuum chamber) 구성과 호환되도록 설계되었으며 사용자에게 친숙한 운영 인터페이스를 갖추고 있습니다. SMD-450은 높은 스퍼터링 전력 및 증착률을 달성 할 수있는 강력한 소스 설계를 갖추고 있습니다. 처리 챔버 부피는 450 리터, 최대 증착율은 최대 4nm/s입니다. 이 장치에는 가열된 척이있는 회전 기판 홀더 (rotating substrate holder) 가 포함되어 최대 300 RPM의 샘플 회전 속도를 허용합니다. 직경이 최대 200mm 인 기판을 수용 할 수 있으며, 증착 대상 (deposition target) 크기는 다양한 모양과 크기에 맞게 사용자 정의 할 수 있습니다. ULVAC SMD-450에는 모든 기판에 균일 하고 반복 가능한 스퍼터 (sputter) 예금을 제공하는 보호 스퍼터 소스가 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 적외선 피로메트리, 정밀한 온도 모니터링 및 히터 제어, 기판 배치를위한 고속 재배치 (high-speed relocator) 등 여러 가지 내장 공정 제어 기능을 제공합니다. 또한, 이 도구에는 내장형 로봇 암 (robot arm) 이 있어 즉시 기판을 쉽게 관리, 로드 및 언로드할 수 있습니다. SMD-450은 질화 실리콘, 산화 알루미늄, 티타늄과 같은 물질을 증착 할 수있는 접촉이없는 스퍼터링 자산입니다. 이 모델은 다양한 기판 (substrate) 과 컴포넌트 (component) 에 균일한 두께 스타일을 가진 박막 (thin film) 을 제작하기 위해 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 대안입니다. ULVAC SMD-450은 고급 박막 공정의 연구 및 개발을위한 훌륭한 도구입니다.