판매용 중고 ULVAC SMD-450 #9269733
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ULVAC SMD-450은 고성능 및 정확한 스퍼터링 장비입니다. EMC 는 성능, 정확성 측면에서 다양한 업계의 엄격한 표준을 충족할 수 있도록 설계되었습니다. SMD-450은 강렬한 플라즈마 스퍼터링 시스템으로, 반도체 및 전자 산업에서 전자, 반도체, 연구, 태양전지 등 다양한 응용 분야에 씬 필름을 기탁하기 위해 가장 많이 사용됩니다. ULVAC SMD-450은 직류 (DC) 마그네트론 RF 전원 공급 장치를 사용하여 음극 대상에 전기적으로 중첩 된 스퍼터링 아크를 만듭니다. 이 과정 때문 에 그 재료 를 고속 으로 "스퍼터 '를 하여, 기판 표적 에 있는 얇은 층 으로 증착 시킨다. "필름 '은" 애플리케이션' 의 요구 조건 을 충족 시키기 위하여 크기 와 모양 이 될 수 있으며, 전체 공정 은 통제 된 환경 에서 수행 된다. "스퍼터링 '과정 중 에 여러 가지" 가스' 를 도입 하여 기판 에 정확 한 박막 증착 을 보장 할 수 있다. 넓은 영역에 걸쳐 뛰어난 플라즈마 균일성 (plasma unifority) 기능을 갖추고 있으며, 고출력 스퍼터링 모드에서도 뛰어난 균일성을 만들어 내며, 대량 스퍼터링 프로젝트에 이상적입니다. 이동성과 유연성을 통해 SMD-450은 다양한 구성의 복잡한 구조를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 이 장치의 또 다른 장점은 높은 정확도의 스퍼터 코팅에 적합하다는 것입니다. 또한 뛰어난 에치 품질과 필름 균일성을 제공하는 개선 된 자기 (magnetic) 디자인이 특징입니다. 안전성과 신뢰성을 지원하기 위해 ULVAC SMD-450은 안전 회로 검사, 긴급 종료, 가스 누출 감지, 화재 예방 시스템 등 다양한 안전 기능 및 진단 기능을 갖추고 있습니다. 또한, 이 기계는 증착 안정성을 높이고 공구의 수명을 연장하는 데 도움이되는 여러 기계적 베어링 (mechanical bearing) 을 가지고 있습니다. 또한 다중 주파수 직류 (DC) RF 전원 공급 장치는 높은 증착율로 균일하고 안정적인 레이어를 생성합니다. SMD-450 은 운영 및 유지 관리가 용이합니다. 즉, 사용자가 매개 변수 설정을 만들고 성능을 모니터링할 수 있는 자동 (automatic operation) 및 유지 보수 (maintenance) 프로그램을 제공합니다. 자동차, 항공 우주, 광학, 의료 등 다양한 산업에서 사용할 수 있습니다. 자산은 금속, 합금 및 열 산화 된 SiO2를 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 뛰어난 균일성, 높은 정확도 스퍼터 코팅, 고급 모니터링 시스템 인 ULVAC SMD-450은 현대의 스퍼터링 기술의 훌륭한 예입니다.
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