판매용 중고 ULVAC SMD-450 #9269732
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ID: 9269732
Sputtering system
Turbopump
Flange
Place machine
Robot controller
(3) Baby frames
(5) Frames
Rotary pump
UPS
Circulating water unit.
ULVAC SMD-450 스퍼터링 장비는 완전히 자동화된 고성능 증착 시스템입니다. 이 장치는 박막을 기판 물질로 진공 증착하도록 설계된 마그네트론 (magnetron) 기반, 단일 챔버 (single-chamber), 탁상 기계입니다. 이 도구의 고급 설계 (advanced design) 를 통해 증착 공정의 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으며, 사용자가 탁월한 균일성, 우수한 접착, 최소한의 기판 가열로 필름을 배치 할 수 있습니다. SMD-450 스퍼터링 에셋 (Sputtering Asset) 은 고급 진공 기술과 증착 공정의 정확한 제어를 위한 강력한 전자 제품을 갖추고 있습니다. 이 모델에는 통합 ac-magnetron 및 dc-magnetron 스퍼터링 음극, 진공 터보-분자 펌프 및 최대 1000 와트의 출력 전력이 가능한 고출력 RF 발전기가 포함됩니다. 이 장비에는 디지털 사용자 인터페이스 (Digital User Interface) 가 장착되어 있어 배치 (Deposition) 매개변수를 쉽게 액세스하고 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 시스템의 AC 마그네트론 (Ac-Magnetron) 전원은 증착율에 따라 조정할 수있는 고출력, 고주파 출력을 제공합니다. 이 장치에는 아크 여과기, 가변 가스 분사 도구, 쿼츠 잠금 포지셔너 (quartz lock-in positioner) 가 있으며, 모두 최고 정도의 정확성과 반복 성을 보장합니다. ULVAC SMD-450 스퍼터링 에셋 (Sputtering Asset) 은 금속, 산화물, 질화물, 탄화물 등 우수한 균일 및 접착력을 가진 다양한 얇은 필름을 퇴적시키는 데 사용될 수 있습니다. 이 모델의 고성능 스퍼터링 캐소드 (sputtering cathode) 는 더 두꺼운 층의 빠른 증착뿐만 아니라 정밀한 레이어 별 증착을 가능하게합니다. 이 장비는 또한 반응성 이온 에칭 (reactive-ion etching) 및 이온 빔 보조 증착을 통해 품질과 정밀도를 높일 수 있습니다. 전반적으로 SMD-450 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 고품질의 반복 가능한 박막 증착을위한 강력하고 정확하며 신뢰할 수있는 증착 장치입니다. 고급 디자인과 기능을 통해 사용자는 기판 난방 (minimal substrate heating) 과 뛰어난 균일성 (uniformity) 및 접착력으로 정밀 증착 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계를 통해 제조업체는 반도체, 유전체 필름, 광학 반사 필름, 전기 도금 된 박막 등 다양한 응용 분야에 대해 내구성이 뛰어나고 신뢰할 수있는 박막 (thin film) 을 생산할 수 있습니다.
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