판매용 중고 ULVAC SMD-450 #9269730

ULVAC SMD-450 (ULVAC SMD-450) 은 DC 마그네트론 또는 다이오드 스퍼터링 장비로, 다양한 기판 재료에서 박막의 증기 증착을 위해 설계되었습니다. 이 장비는 낮은 증착율과 높은 두께 (thickness resolution) 를 모두 제공할 수 있습니다. 스퍼터링 시스템은 반도체, MEMS 및 광학 장치 제작 산업의 생산 프로세스에 사용됩니다. SMD-450은 총 크기가 630mm x 725mm x 1035mm 인 고성능 75mm 스퍼터링 챔버를 제공합니다. 최대 450mm 웨이퍼를 수용하도록 설계되었으며 웨이퍼 표면을 가로 질러 얇은 필름의 균일 한 증착을위한 350mm x 350mm 회전 턴테이블이 있습니다. 이 시스템에는 균일 한 두께 제어를 위해 3 마그네트론 편광 스퍼터 구성이 장착되어 있습니다. 안정적인 작동을 보장하기 위해 장치에는 13.56MHz RF (Power Source) 와 온도 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 또한 ULVAC SMD-450에는 균일하고 효율적인 작동을위한 범용 진공 소스가 포함되어 있습니다. SMD-450을 제어하기 위해 기계에는 첨단 터치 스크린 인터페이스가 장착되어 있습니다. 사용자는 스퍼터 파워 (sputter power), 증착 시간 (deposition time) 및 기타 매개변수와 같은 공구 매개변수를 빠르고 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 이 자산에는 운영 절차를 간소화하기 위해 직관적이고 사용자 친화적 인 소프트웨어가 있습니다. 전반적으로 ULVAC SMD-450 은 다양한 애플리케이션을 위한 고품질 박막 (Thin Film) 제작에 적합한 솔루션입니다. 다용도, 성능, 신뢰성을 완벽하게 조합하여 효율적으로 운영할 수 있습니다. 직관적인 소프트웨어와 터치스크린 인터페이스 (TouchScreen Interface) 를 통해 사용자는 고객의 애플리케이션 요구에 맞게 모델을 빠르고 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 따라서 다양한 어플리케이션을 위해 고품질의 박막 (Thin Film) 을 제작해야 하는 유연성과 정밀성을 누릴 수 있습니다.