판매용 중고 ULVAC SMD-450 #9269729

ULVAC SMD-450은 박막 증착 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 여러 가지 고급 기능 (advanced features) 과 컴포넌트 (component) 덕분에 매우 효율적인 방식으로 다양한 박막 (thin film) 을 제작할 수 있습니다. 이 시스템은 최대 10-5 Pa의 압력 수준을 유지할 수있는 초고 진공 챔버를 사용합니다. 이를 통해 최대 1.5 nm/s의 스퍼터링 속도를 달성 할 수 있습니다. SMD-450은 이중 단계, 모듈 식 유닛으로, 사용자는 다른 스퍼터링 소스 (DC, 펄스 및 필터링 된 음극 호 소스 포함) 를 결합하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 비정질 및 다결정 금속, 도자기, 복합 물질, 유전체 등을 포함하여 낮은 점도와 높은 점성 물질을 스퍼터링 할 수 있습니다. 또한 화합물을 스퍼터팅 할 수 있으며, 이는 많은 Thin Film Solar Cell 응용 프로그램에서 특히 중요합니다. 이 도구 는 각기 다른 화합물 로 "스퍼터링 '을 하는 것 을 개별적 으로 사용 할 수 있도록 설계 되어 있어서, 공정 의 효율성 이 대단 히 좋다. 또한, 자산에는 뛰어난 기판 바이어스, RF 및 플라즈마 청소 기능이 있습니다. 이를 통해 사용자는 더 단단한 표면 형태, 더 높은 밀도로 더 좋은 품질의 박막 (thin film) 을 얻을 수 있습니다. 필름의 균일 성은 또한 ECR (유도 아크 방전) 소스 기술을 통해 향상되는데, 이는 스퍼터링 (sputtering) 이 발생하는 기판 영역을 정확히 파악하여 균등 한 증착 특성을 보장하는 데 도움이됩니다. 최대 8 nm/min의 밀도 높은 증착율은 다양한 재료를 입금하는 기능과 함께 ULVAC SMD-450을 박막 제조 (Thin Film Manufacturing) 에 유용한 도구로 만듭니다. 이 모델의 유연성, 품질 및 전반적인 효율성은 하드 디스크 및 터널링 자기 저항 (TMR) 헤드 생산과 같은 전자 응용 프로그램과 ARD (Antireflective) 및 TCO (Transparent Conducting Oxide) 생산과 같은 광학 응용 프로그램에 사용됩니다. 또한 처리량이 높고 점도가 높은 프로세스 호환성은 DMD (Digital Mirror Device) 생산에 사용할 수 있음을 의미합니다.